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1. (WO2007004119) A METHOD OF MANUFACTURING A MEMS ELEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/004119    International Application No.:    PCT/IB2006/052109
Publication Date: 11.01.2007 International Filing Date: 27.06.2006
IPC:
B81C 1/00 (2006.01)
Applicants: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH [DE/DE]; Steindamm 94, 20099 Hamburg (DE) (DE only).
DEKKER, Ronald [NL/NL]; (NL) (For US Only).
LANGEREIS, Geert [NL/NL]; (NL) (For US Only).
POHLMANN, Hauke [DE/DE]; (NL) (For US Only).
DUEMLING, Martin [DE/DE]; (NL) (For US Only)
Inventors: DEKKER, Ronald; (NL).
LANGEREIS, Geert; (NL).
POHLMANN, Hauke; (NL).
DUEMLING, Martin; (NL)
Agent: NOLLEN, Maarten, D-J.; Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Priority Data:
05105869.1 30.06.2005 EP
Title (EN) A METHOD OF MANUFACTURING A MEMS ELEMENT
(FR) PROCEDE DE FABRICATION D'UN ELEMENT MICROELECTROMECANIQUE
Abstract: front page image
(EN)The device (100) comprises a substrate (10) of a semiconductor material with a first and an opposite second surface (1,2) and a microelectromechanical (MEMS) element (50) which is provided with a fixed and a movable electrode (52, 51) that is present in a cavity (30). One of the electrodes (51,52) is defined in the substrate (10). The movable electrode (51) is movable towards and from the fixed electrode (52) between a first gapped position and a second position. The cavity (30) is opened through holes (18) in the substrate (10) that are exposed on the second surface (2) of the substrate (10). The cavity (30) has a height that is defined by at least one post (15) in the substrate (10), which laterally substantially surrounds the cavity (15).
(FR)L'invention concerne un dispositif (100) présentant un substrat (10) en matériau semi-conducteur pourvu d'une première surface et d'une seconde surface opposée (1, 2) et un élément microélectromécanique (MEMS) (50) pourvu d'une électrode fixe et d'une électrode mobile (52, 51) qui se trouve dans une cavité (30). Une des électrodes (51, 52) est formée dans le substrat (10). L'électrode mobile (51) peut se déplacer vers et depuis l'électrode fixe (52) entre une première position écartée position et une seconde position. La cavité (30) est ouverte par le biais de trous (18) formés dans le substrat (10) et s'ouvrant sur la seconde surface (2) du substrat (10). Cette cavité (30) présente une hauteur définie par au moins un support (15) dans le substrat (10), qui entoure sensiblement les côtés de ladite cavité.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)