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1. (WO2007003444) METHOD AND ARRANGEMENT FOR INVESTIGATION OF AN OBJECT TO BE MEASURED BY MEANS OF INVASIVE RADIATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/003444    International Application No.:    PCT/EP2006/006756
Publication Date: 11.01.2007 International Filing Date: 06.07.2006
Chapter 2 Demand Filed:    11.04.2007    
IPC:
G01N 23/04 (2006.01), A61B 6/00 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Str. 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
ENGEL, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ENGEL, Thomas; (DE)
Agent: BRUNOTTE, Joachim; Bressel und Partner, Radickestrasse 48, 12489 Berlin (DE)
Priority Data:
10 2005 032 686.2 06.07.2005 DE
Title (DE) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUM UNTERSUCHEN EINES MESSOBJEKTS MITTELS INVASIVER STRAHLUNG
(EN) METHOD AND ARRANGEMENT FOR INVESTIGATION OF AN OBJECT TO BE MEASURED BY MEANS OF INVASIVE RADIATION
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR ETUDIER UN OBJET DE MESURE AU MOYEN D'UN RAYONNEMENT INVASIF
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Untersuchen eines Messobjekts (1), wobei das Messobjekt (1) invasiver Strahlung ausgesetzt wird, wobei eine Wechselwirkung der invasiven Strahlung aus einer Strahlungsquelle (3) mittels einer strahlungsempfindlichen Sensoreinrichtung (6) detektiert wird, wobei ein erwartetes Detektionsergebnis der Sensoreinrichtung (6) unter Verwendung einer Sollgeometrie des Messobjekts (1) und unter Verwendung von Materialeigenschaften von einer Berechnungseinrichtung (13) berechnet wird und/oder ein erwartetes Detektionsergebnis durch Vermessung eines Meisterteils ermittelt wird und wobei das erwartete Detektionsergebnis mit einem tatsächlichen Detektionsergebnis der Sensoreinrichtung (6) von einer Vergleichseinrichtung (11) verglichen wird.
(EN)The invention relates to a method and arrangement for investigation of an object to be measured (1), said object to be measured (1) being subjected to invasive radiation. An interaction of the invasive radiation from a radiation source (3) is detected by means of a radiation-sensitive sensor device (6). An anticipated detection result for the sensor device (6) is calculated from a set geometry of the object to be measured (1) and material properties by a calculation (13) and/or an anticipated detection result is determined by measurement of a standard body and the anticipated detection result is compared with an actual detection result from the sensor device (6) by a comparator device (11).
(FR)La présente invention concerne un procédé et un dispositif pour étudier un objet de mesure (1) en l'exposant à un rayonnement invasif. Selon cette invention, une interaction du rayonnement invasif provenant d'une source de rayonnements (3) est détectée au moyen d'un système de détection sensible aux rayonnements (6). Un résultat de détection attendu du système de détection (6) est calculé par un système de calcul (13) en utilisant une géométrie théorique de l'objet de mesure (1) et en utilisant des caractéristiques des matériaux et/ou un résultat de détection attendu est déterminé en mesurant une pièce maîtresse, puis le résultat de détection attendu est comparé par un système de comparaison (11) à un résultat de détection réel du système de détection (6).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)