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1. (WO2007002374) EUV LIGHT SOURCE COLLECTOR EROSION MITIGATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/002374    International Application No.:    PCT/US2006/024446
Publication Date: 04.01.2007 International Filing Date: 23.06.2006
IPC:
G21K 1/00 (2006.01), H01J 35/00 (2006.01)
Applicants: CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US) (For All Designated States Except US).
PARTLO, William, N. [US/US]; (US) (For US Only).
ERSHOV, Alexander, I. [US/US]; (US) (For US Only).
FOMENKOV, Igor, V. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: PARTLO, William, N.; (US).
ERSHOV, Alexander, I.; (US).
FOMENKOV, Igor, V.; (US)
Agent: CRAY, William, C.; CYMER, INC., Legal Dept., MS/4-2C, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US)
Priority Data:
11/168,190 27.06.2005 US
11/174,442 29.06.2005 US
11/238,828 28.09.2005 US
Title (EN) EUV LIGHT SOURCE COLLECTOR EROSION MITIGATION
(FR) ATTENUATION D'EROSION DE COLLECTEUR A SOURCE LUMINEUSE D'ULTRAVIOLETTE EXTREME
Abstract: front page image
(EN)An extreme ultraviolet light source collector erosion mitigation system and method may include a multilayered mirror having an outer surface. The outer surface of the mirror can have a capping material subject to erosion due to interaction with materials created in an extreme ultraviolet light-creating plasma. The system may include a replacement material generator, positioned to deliver a replacement material including the capping material to the collector outer surface at a rate sufficient to compensate for the erosion. Replacement material generators may include generators positioned to deliver replacement material to a selected portion of the collector outer surface. The generators may use a mechanism to sputter the replacement material to the collector outer surface.
(FR)La présente invention a trait à un système et un procédé d'atténuation d'érosion de collecteur à source lumineuse d'ultraviolette extrême, comportant un collecteur comprenant un collecteur à miroir multicouche incluant une surface extérieure de collecteur constituée d'un matériau de coiffe sujet à l'élimination en raison d'une action d'élimination avec des matériaux créés dans un plasma de génération de lumière ultraviolette extrême; un générateur de matériau de remplacement pour fournir un matériau de remplacement comprenant le matériau de revêtement à la surface extérieure du collecteur à un débit suffisant pour remplacer le matériau de coiffe éliminé en raison de l'interaction d'élimination. Le générateur de matériau de remplacement comporte une pluralité de générateurs de matériau de remplacement positionnés pour fournir respectivement du matériau de remplacement à une portion sélectionnée de la surface extérieure du collecteur, qui peut comporter un mécanisme de pulvérisation cathodique assurant la pulvérisation cathodique de matériau de coiffe sur la surface extérieure du collecteur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)