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1. (WO2007002288) APPARATUS AND PROCESS FOR INTEGRATED GAS BLENDING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2007/002288 International Application No.: PCT/US2006/024308
Publication Date: 04.01.2007 International Filing Date: 22.06.2006
Chapter 2 Demand Filed: 04.05.2007
IPC:
G05D 7/06 (2006.01) ,B67D 99/00 (2010.01)
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
D
SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7
Control of flow
06
characterised by the use of electric means
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
67
OPENING OR CLOSING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
D
DISPENSING, DELIVERING, OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
99
Subject matter not provided for in other groups of this subclass
Applicants:
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. [US/US]; 7 Commerce Drive Danbury, CT 06810-4169, US (AllExceptUS)
HOMAN, Jeffrey, J. [US/US]; US (UsOnly)
ARNO, Jose, I. [ES/US]; US (UsOnly)
SWEENEY, Joseph, D. [US/US]; US (UsOnly)
Inventors:
HOMAN, Jeffrey, J.; US
ARNO, Jose, I.; US
SWEENEY, Joseph, D.; US
Agent:
HULTQUIST, Steven, J.; INTELLECTUAL PROPERTY/TECHNOLOGY LAW P.O. Box 14329 Research Triangle Park, NC 27709, US
Priority Data:
60/693,01522.06.2005US
Title (EN) APPARATUS AND PROCESS FOR INTEGRATED GAS BLENDING
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE MELANGE DE GAZ INTEGRE
Abstract:
(EN) A system (10) for delivery of dilute fluid, utilizing an active fluid source (12), a diluent fluid source (14), a fluid flow metering device (24) for dispensing of one of the active and diluent fluids, a mixer (28) arranged to mix the active and diluent fluids to form a diluted active fluid mixture, and a monitor (42) arranged to sense concentration of active fluid and/or diluent fluid in the diluted active fluid mixture, and responsively adjust the fluid flow metering device (24) to achieve a predetermined concentration of active fluid in the diluted active fluid mixture. A pressure controller (38) is arranged to control flow of the other of the active and diluent fluids so as to maintain a predetermined pressure of the diluted active fluid mixture dispensed from the system. The fluid dispensed from the system then can be adjustably controlled by a flow rate controller, e.g., a mass flow controller, to provide a desired flow to a fluid-utilizing unit, such as a semiconductor process tool. An end point monitoring assembly is also described, for switching fluid sources (12, 15) to maintain continuity of delivery of the diluted active fluid mixture.
(FR) L'invention porte sur un système (10) destiné à la distribution de fluide dilué, qui fait appel à une source de fluide actif (12), à une source de fluide diluant (14), à un dispositif de mesure de débit de fluide (24) qui distribue le fluide actif ou le fluide diluant, à un mélangeur (28) agencé pour mélanger le fluide actif et le fluide diluant afin de former un mélange de fluide actif dilué, et à un dispositif de surveillance (42) agencé pour détecter la concentration en fluide actif et/ou en fluide diluant du mélange de fluide actif dilué et, en réaction à ladite concentration, ajuster le dispositif de mesure de débit de fluide (24) afin d'obtenir une concentration prédéterminée en fluide actif dans le mélange de fluide actif dilué. Un contrôleur de pression (38) est agencé pour régler l'écoulement de l'autre fluide, le fluide actif ou le fluide diluant, afin de maintenir une pression prédéterminée du mélange de fluide actif dilué distribué par le système. Un contrôleur de débit, p.ex. un contrôleur de débit massique, peut alors réguler le fluide distribué par le système afin d'obtenir un débit désiré vers une unité utilisatrice du fluide, par exemple un outil de traitement de semiconducteurs. L'invention concerne aussi un ensemble de surveillance de point final qui permet de commuter les sources de fluide (12, 15) afin de maintenir une distribution continue du mélange de fluide actif dilué.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
KR1020080032113EP1899040JP2008543563US20100224264