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1. (WO2007001321) ATOM PROBE ELECTRODE TREATMENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2007/001321 International Application No.: PCT/US2005/025740
Publication Date: 04.01.2007 International Filing Date: 21.07.2005
IPC:
H01J 37/00 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
Applicants:
IMAGO SCIENTIFIC INSTRUMENTS CORPORATION [US/US]; Suite 100 6300 Enterprise Lane Madison, WI 53719, US (AllExceptUS)
ULFIG, Robert, Matthew [US/US]; US (UsOnly)
BUNTON, Joseph, Hale [US/US]; US (UsOnly)
KELLY, Thomas, F. [US/US]; US (UsOnly)
LARSON, David, James [US/US]; US (UsOnly)
MARTENS, Richard, Lawrence [US/US]; US (UsOnly)
THOMPSON, Keith, Joseph [US/US]; US (UsOnly)
WIENER, Scott, Albert [US/US]; US (UsOnly)
Inventors:
ULFIG, Robert, Matthew; US
BUNTON, Joseph, Hale; US
KELLY, Thomas, F.; US
LARSON, David, James; US
MARTENS, Richard, Lawrence; US
THOMPSON, Keith, Joseph; US
WIENER, Scott, Albert; US
Agent:
SEELEY, Tim, R.; Perkins Coie LLP P.O. Box 1247 Seattle, WA 98111-1247, US
Priority Data:
60/690,99716.06.2005US
Title (EN) ATOM PROBE ELECTRODE TREATMENTS
(FR) TRAITEMENTS POUR ELECTRODE DE SONDE ATOMIQUE
Abstract:
(EN) A method for treating an atom probe electrode (120), which comprises the steps of providing an atom electrode (120) having a surface (123) and an aperture (122); and removing material (604) from the surface (123) to reduce a potential of the atom probe electrode creating a non-uniformity in an electric field (502) when the atom probe electrode is used in a atom probe device during specimen analysis.
(FR) L'invention concerne des traitements pour des électrodes de sonde atomique, notamment des traitements pour des électrodes de sonde atomique utilisées dans des dispositifs à sonde atomique (par exemple, des microscopes à sonde atomique). Par exemple, certain modes de réalisation de l'invention concernent des procédés de traitement d'une électrode de sonde atomique afin de réduire un potentiel de ladite électrode de sonde atomique créant une émission de champ ou une émission thermionique lorsque celle-ci est utilisée dans un dispositif à sonde atomique pendant une analyse de spécimen. Parmi lesdits traitements, on peut citer des procédés rendant une surface de ladite électrode de sonde atomique plus lisse et/ou améliorant la consistance d'un matériau dans la surface de ladite électrode de sonde atomique. Par exemple, dans certains modes de réalisation, les procédés de traitement peuvent consister :à déposer un matériau sur la surface de ladite électrode de sonde atomique ; à éliminer le matériau de la surface ; à chauffer la surface ; à refroidir la surface ; à produire un impact sur la surface avec des atomes de gaz ionisés ; et/ou à appliquer une énergie laser sur la surface.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
US20090114620