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Pub. No.:    WO/2007/000914    International Application No.:    PCT/JP2006/312326
Publication Date: 04.01.2007 International Filing Date: 20.06.2006
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (For All Designated States Except US).
MACHIYAMA, Wataru [JP/JP]; (For US Only).
ISHIZAWA, Shigeru [JP/JP]; (For US Only).
KOIZUMI, Hiroshi [JP/JP]; (For US Only).
HIROKI, Tsutomu [JP/JP]; (For US Only).
KONDOH, Keisuke [JP/JP]; (For US Only)
Inventors: MACHIYAMA, Wataru; .
ISHIZAWA, Shigeru; .
KOIZUMI, Hiroshi; .
HIROKI, Tsutomu; .
KONDOH, Keisuke;
Agent: SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE, 1-12-9, Toranomon, Minato-ku Tokyo 1050001 (JP)
Priority Data:
2005-189026 28.06.2005 JP
(JA) 被処理体の搬送装置
Abstract: front page image
(EN)A processing system (100) comprises a conveyance chamber (150), a plurality of chambers (140, 160) connected with the conveyance chamber, conveying equipment (180) arranged in the conveyance chamber, and a section (200) for controlling the conveying equipment. The conveying equipment comprises a base mount (182) capable of slide operation, and conveying arms (185A, 185B) capable of turning operation. The control section comprises a storage section and an operation controller. The storage section stores pattern model information about a plurality of operation patterns representative of a compound operation of a slide operation and a turning operation, and track model information about a time-dependent operation track corresponding to each operation pattern. The operation controller retrieves required information from the pattern model information and the track model information, and controls operation of conveying equipment according to that information.
(FR)L’invention concerne un système de traitement (100) comprenant une chambre de convoyage (150), une pluralité de chambres (140, 160) connectées à la chambre de convoyage, un équipement de convoyage (180) disposé dans la chambre de convoyage, et une section (200) pour commander l’équipement de convoyage. L’équipement de convoyage comprend un socle de base (182) capable de coulisser, et des bras de convoyage (185A, 185B) capables de tourner. La section de commande comprend une section de stockage et un contrôleur d’exploitation. La section de stockage permet de stocker des informations de modèle de motif concernant une pluralité de motifs de commande représentatifs d’une opération composée de coulissement et de rotation, et des informations de modèle de piste portant sur une piste de commande liée au temps correspondant à chaque motif d’exploitation. Le contrôleur d’exploitation récupère des informations requises à partir des informations de modèle de motif et des informations de modèle de piste, et commande l’exploitation de l’équipement de convoyage selon ces informations.
(JA)not available
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)