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1. WO2007000901 - SURFACE MODIFIED MEMBER, SURFACE TREATING METHOD AND SURFACE TREATING SYSTEM

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

請求の範囲

[1] セラミックス類、および金属類から選択された少なくとも一種で構成され、かつ表面 改質により汚染物質の付着を防止できる部材であって、アッシュテストにおいてタバコ の灰の付着がなぐ X線光電子分光分析により分析したとき、未処理部材に比べて、 改質された表面での炭素原子濃度が低減し、酸素原子濃度が増大している、表面改 質された処理部材。

[2] セラミックス又はアルマイトで構成され、 5nm/分のエッチング速度で X線光電子分 光分析により深さ方向に分析したとき、炭素原子濃度が、エッチング時間 0秒で 10〜 50%, 15禾少で7〜350/0、 30禾少で 5〜30ο/ο、又 ίま 60禾少で 3〜250/0のレヽずれ力であり 、酸素原子濃度がエッチング時間 0秒で 30〜60%、 15秒で35〜62%、 30秒で 43 〜63%、又は 60秒で 45〜65%のいずれかである請求項 1記載の表面改質された 処理部材。

[3] 金属で構成され、 5nm/分のエッチング速度で X線光電子分光分析により深さ方 向に分析したとき、酸素原子濃度がエッチング時間 0秒で 32〜45%、 15秒で 28〜4 2%、 30秒で 22〜36%、又は 60秒で 13〜25%のいずれかである請求項 1記載の 表面改質された処理部材。

[4] セラミックス又はアルマイトで構成され、 5nmZ分のエッチング速度で X線光電子分 光分析により深さ方向に分析したとき、未処理部材に比べて、炭素原子濃度の低減 率力エッチング時間 0秒で 10〜80%、 15秒で 15〜90%、 30秒で 20〜90%、又 は 60秒で 20〜90%のいずれかであり、酸素原子濃度の増加率が、エッチング時間 0秒で 15〜: 120%、 15秒で 10〜150%、 30秒で 7〜: 130%、又は 60秒で 5〜: 125 %のいずれかである請求項 1記載の表面改質された処理部材。

[5] 水に対する接触角が 10〜: 100° であり、未処理部材に比べて水に対する接触角 力 S15〜70° 低下している請求項 1記載の表面改質された処理部材。

[6] 周期表 4族元素、 5族元素、 13族元素および 14族元素から選択された少なくとも一 種の元素で構成された酸化物セラミックス類、酸化処理された金属類又は金属類で ある請求項 1記載の表面改質された処理部材。

[7] ケィ素及びアルミニウムから選択された少なくとも一種の元素で構成された酸化物

セラミックス類、酸化処理された金属類又は金属類である請求項 1記載の表面改質さ れた処理部材。

[8] シリカ又はガラス、アルミナ、アルマイト加工されたアルミニウム又はその合金、シリ コン、およびアルミニウム又はその合金から選択された少なくとも一種である請求項 1 記載の表面改質された処理部材。

[9] 被処理部材への汚染物質の付着を防止するための方法であって、セラミックス類、 および金属類から選択された少なくとも一種の被処理部材を過熱水蒸気で処理する 表面処理方法。

[10] 被処理部材を、 300〜: 1000°Cの過熱水蒸気で処理する請求項 9記載の方法。

[11] 被処理部材が、気相法による表面処理装置内の処理空間と接触可能な部材であ る請求項 9記載の方法。

[12] 被処理部材が、気相法による表面処理装置の少なくとも内面を構成する部材、又 は前記表面処理装置内に配設される部材である請求項 9記載の方法。

[13] 被処理部材が、気相法で処理される基材又は基板;又は電極部材、保持又は支持 部材、ボート、カバー部材*シールド部材又はキャップ部材、絶縁部材、吸排気路又 は流路の構成部材、内壁又は内装部材、プレート類、および連結又は固定部材から 選択された少なくとも一種である請求項 9記載の方法。

[14] 被処理部材が、気相表面処理装置内を観察するための窓部材、エッチングガスが 通過可能な孔を有する部材である請求項 9記載の方法。

[15] 被処理部材が、周期表 4族元素、 5族元素、 13族元素および 14族元素から選択さ れた少なくとも一種の元素で構成された酸化物セラミックス類、酸化処理された金属 類又は金属類である請求項 9記載の方法。

[16] 被処理部材が、ケィ素及びアルミニウムから選択された少なくとも一種の元素で構 成された酸化物セラミックス類、酸化処理された金属類又は金属類である請求項 9記 載の方法。

[17] 気相法が、物理気相成長、化学気相成長、イオンビームミキシング法、エッチング 法、又は不純物ドープ法である請求項 11記載の方法。

[18] 被処理部材を、その表面積 lm2に対して過熱水蒸気の蒸気量 100g/h〜: 100kg /hで処理する請求項 9記載の方法。

[19] 被処理部材を過熱水蒸気で処理し、気相法による表面処理工程で生成する粒子 が被処理部材に付着するのを防止する請求項 9記載の方法。

[20] 過熱水蒸気で処理し、被処理部材の親水性及び Z又は帯電防止性を向上させる 請求項 18記載の方法。

[21] 請求項 9記載の方法で表面処理された処理部材。

[22] 被処理部材への汚染物質の付着を防止するための部材を製造する装置であって、 過熱水蒸気を発生させるためのユニットと、このユニットからの過熱水蒸気を被処理 部材に接触させるためのユニットとを備えている表面処理装置。