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1. (WO2007000727) METHOD OF RECONSTRUCTING A SURFACE TOPOLOGY OF AN OBJECT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/000727    International Application No.:    PCT/IB2006/052118
Publication Date: 04.01.2007 International Filing Date: 27.06.2006
IPC:
G01B 11/25 (2006.01)
Applicants: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) (For All Designated States Except US).
VAN AMSTEL, Willem, D. [NL/NL]; (NL) (For US Only).
SZWEDOWICZ, Konrad, K. [PL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: VAN AMSTEL, Willem, D.; (NL).
SZWEDOWICZ, Konrad, K.; (NL)
Agent: REINTS BOK, Wouter; Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Priority Data:
05105733.9 28.06.2005 EP
Title (EN) METHOD OF RECONSTRUCTING A SURFACE TOPOLOGY OF AN OBJECT
(FR) PROCEDE DE RECONSTRUCTION D'UNE TOPOLOGIE DE SURFACE D'UN OBJET
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a method of reconstructing a surface topology of a surface (1) of an object (2). Conventional methods such as interferometry, or methods which acquire measurement values which represent slopes of the surface profile (slope values), show only a limited height resolution in the case of large flat objects such as wafers. In order to overcome this problem the surface of the object is sub-divided into smaller areas, and from each area slope values are obtained at optimum apparatus parameters. Then the areas are stitched together and the 3D topography is reconstructed.
(FR)L'invention concerne un procédé de reconstruction d'une topologie d'une surface (1) d'un objet (2). Des procédés traditionnels, tels qu'une interférométrie ou des procédés qui permettent d'acquérir des valeurs de mesure représentant des pentes du profil de surface (valeurs de pente), présentent uniquement une résolution de hauteur limitée dans le cas d'objets plats larges, tels que des plaquettes. En vue de surmonter ce problème, la surface de l'objet est subdivisée en zones plus petites et, à partir de chaque zone, sont obtenues des valeurs de pente avec des paramètres optimaux d'appareil. Ainsi, les zones sont cousues ensemble et la topographie tridimensionnelle est reconstruite.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)