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1. (WO2007000255) METHOD FOR TREATING PLASMA AND/OR COVERING PLASMA OF WORKPIECES UNDER CONTINUOUS ATMOSPHERIC PRESSURE, IN PARTICULAR MATERIAL PLATES OR STRIPS
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Pub. No.: WO/2007/000255 International Application No.: PCT/EP2006/005838
Publication Date: 04.01.2007 International Filing Date: 19.06.2006
IPC:
C23C 16/50 (2006.01) ,C23C 16/54 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
23
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
C
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16
Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition (CVD) processes
44
characterised by the method of coating
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using electric discharges
C CHEMISTRY; METALLURGY
23
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
C
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16
Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition (CVD) processes
44
characterised by the method of coating
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Apparatus specially adapted for continuous coating
Applicants:
SOFTAL ELECTRONIC ERIK BLUMENFELD GMBH & CO. KG [DE/DE]; König-Georg-Stieg 1 21207 Hamburg, DE (AllExceptUS)
PRINZ, Eckhard [DE/DE]; DE (UsOnly)
PALM, Peter [DE/DE]; DE (UsOnly)
FÖRSTER, Frank [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors:
PRINZ, Eckhard; DE
PALM, Peter; DE
FÖRSTER, Frank; DE
Agent:
VON EICHEL-STREIBER, Caspar ; Geffckenstrasse 6 20249 Hamburg, DE
Priority Data:
10 2005 029 360.324.06.2005DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR KONTINUIERLICHEN ATMOSPHÄRENDRUCK PLASMABEHANDLUNG UND/ODER -BESCHICHTUNG VON WERKSTÜCKEN
(EN) METHOD FOR TREATING PLASMA AND/OR COVERING PLASMA OF WORKPIECES UNDER CONTINUOUS ATMOSPHERIC PRESSURE, IN PARTICULAR MATERIAL PLATES OR STRIPS
(FR) PROCEDE DE TRAITEMENT PLASMA ET/OU DE REVETEMENT PLASMA EN PRESSION ATMOSPHERIQUE CONTINUE DE PIECES D'USINAGE, NOTAMMENT DE MATERIAU EN PLAQUE OU EN BANDE
Abstract:
(DE) Mit der Erfindung wird ein Verfahren angegeben, mit welchem ein Werkstück auf einer den eine Plasmaentladung induzierenden Hochspannungselektroden abgewandten Seite einer Atmosphärendruck Plasmabehandlung und/oder -entladung unterzogen werden kann. Dies ist ein Verfahren zur kontinuierlichen Atmosphärendruck Plasmabehandlung und/oder Plasmabeschichtung von elektrisch isolierenden Werkstücken (3), bei dem ein zu behandelndes Werkstück in einem Abstand unterhalb wenigstens einer sich quer zu der Bewegungsrichtung zumindest über die Breite der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes erstreckenden Hochspannungselektrode (1) angeordnet und die Elektrode und das Werkstück in einer Bewegungsrichtung relativ zueinander in Bewegung versetzt werden, wobei an die Hochspannungselektrode eine Hochspannung, angelegt wird, welches sich dadurch auszeichnet, dass ein erster zwischen der Hochspannungselektrode und dem Werkstück gelegener Raum mit einer ersten Atmosphäre und dass ein zweiter auf der der Hochspannungselektrode abgewandten Seite des Werkstückes gelegener, an eine Rückseite desselben angrenzender Raum mit einer zweiten von der ersten Atmosphäre verschiedenen Atmosphäre gefüllt wird, wobei die Wahl der Hochspannung sowie der ersten und der zweiten Atmosphäre derart erfolgt, dass eine Plasmaentladung in der zweiten Atmosphäre zündet.
(EN) The invention relates to a method, wherein a workpiece can be subjected to plasma treatment and/or plasma discharge under atmospheric pressure on one side which is oriented away from high voltage electrodes which induce plasma discharge. Said method is a method for treating plasma and or covering plasma under continuous atmospheric pressure of electrically insulating workpieces, in particular material plates or strips. According to said method, the workpiece, which is to be machined, is arranged at a distance below at least one high voltage electrode which extends in a transversal manner in the direction of movement, at least on the width of the surface of the work piece which is to be treated, and the electrode and the workpiece are offset in the direction of movement. The electrode is a high voltage electrode, preferably in the form of alternating voltage. The invention is characterised in that a first chamber, which is situated between the high voltage electrode and the work piece, is filled with a first atmosphere and that a second chamber, which is arranged on the side of the workpiece which is oriented away from the high voltage electrode, and adjacent to the rear side thereof, is filled with a second atmosphere which is different from the first. The high voltage, the first atmosphere and the second atmosphere are selected in such a manner that a plasma discharge is provoked in the second atmosphere.
(FR) L'invention concerne un procédé selon lequel une pièce d'usinage est soumise, sur une face opposée aux électrodes haute tension induisant une décharge plasma, à un traitement plasma et/ou à une décharge plasma en pression atmosphérique continue. Ce procédé de traitement plasma et/ou de revêtement plasma en pression atmosphérique continue s'applique à des pièces d'usinage d'isolation électrique, notamment à des matériaux en plaques ou en bandes. Selon ce procédé, la pièce à usiner est disposée à une certaine distance sous au moins une électrode haute tension s'étendant transversalement au sens du mouvement, au moins sur la largeur de la surface à traiter de la pièce d'usinage, l'électrode et la pièce d'usinage étant mutuellement déplacées dans un sens de déplacement. L'électrode est sous haute tension, de préférence sous forme de tension alternative. L'invention est caractérisée en ce qu'un premier espace situé entre l'électrode haute tension et la pièce d'usinage est rempli d'une première atmosphère et qu'un deuxième espace, situé sur la face de la pièce d'usinage opposée à l'électrode haute tension et adjacent à une face arrière de ladite pièce, est rempli d'une deuxième atmosphère différente de la première. La haute tension, la première atmosphère et la deuxième atmosphère sont sélectionnées de manière à provoquer l'amorce de la décharge plasma dans la deuxième atmosphère.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)
Also published as:
EP1894449EP1902156JP2008547166US20100112235US20100221451CN101198718
DK1902156IN4725/KOLNP/2007