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1. (WO2006123680) ELECTROSTATIC HOLDING APPARATUS AND ELECTROSTATIC TWEEZERS USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/123680    International Application No.:    PCT/JP2006/309804
Publication Date: 23.11.2006 International Filing Date: 17.05.2006
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), B25B 9/02 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
Applicants: TSUKUBA SEIKO LTD. [JP/JP]; 2168-10, Aza Ganjoh-ji Oaza Kamikamou, Kaminokawa-machi Kawachi-gun, Tochigi 329-0617 (JP) (For All Designated States Except US).
POH, Fow-Lai [MY/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: POH, Fow-Lai; (JP)
Agent: NISHIWAKI, Tamio; Asahi Bldg. 7F, 6-7, Ginza 6-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040061 (JP)
Priority Data:
2005-147537 20.05.2005 JP
Title (EN) ELECTROSTATIC HOLDING APPARATUS AND ELECTROSTATIC TWEEZERS USING SAME
(FR) APPAREIL DE MAINTIEN ÉLECTROSTATIQUE ET PINCE ÉLECTROSTATIQUE UTILISANT LEDIT APPAREIL
(JA) 静電保持装置及びそれを用いた静電ピンセット
Abstract: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide an electrostatic holding apparatus which can perform handling for a long period of time even when a direct current high voltage power supply is separated. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] The electrostatic holding apparatus holds a subject (205) to be held by applying a prescribed voltage from the direct current high voltage power supply (122) to a plurality of electrode groups (202a, 202b) by having the electrode groups (202a, 202b) as a holding section (110). The electrostatic holding apparatus is provided with an electrode potential fall modifying apparatus (100) which modifies fall of a potential applied to the electrode groups (202a, 202b) by being separated from the direct current high voltage power supply (122) by switches (121a, 121b). The electrode potential fall modifying apparatus (100) includes, for instance, capacitors (102a, 102b).
(FR)L’invention concerne un appareil de maintien électrostatique assurant une excellente tenue sur une longue période de temps même si une alimentation haute tension en courant continu est séparée. L’appareil de maintien électrostatique de l’invention maintient un sujet (205) à maintenir en appliquant une tension prescrite à partir de l’alimentation haute tension en courant continu (122) à une pluralité de groupes d’électrodes (202a, 202b) en ayant les groupes d’électrodes (202a, 202b) comme section de maintien (110). L’appareil de maintien électrostatique est pourvu d’un appareil de modification de chute de potentiel d’électrode (100) qui modifie la chute d’un potentiel appliqué aux groupes d’électrodes (202a, 202b) par séparation de l’alimentation haute tension en courant continu (122) à l’aide des interrupteurs (121a, 121b). L’appareil de modification de chute de potentiel d’électrode (100) comporte, par exemple, des condensateurs (102a, 102b).
(JA)not available
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)