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1. (WO2006122294) TECHNIQUES AND DEVICES FOR CHARACTERIZING SPATIALLY NON-UNIFORM CURVATURES AND STRESSES IN THIN-FILM STRUCTURES ON SUBSTRATES WITH NON-LOCAL EFFECTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/122294    International Application No.:    PCT/US2006/018379
Publication Date: 16.11.2006 International Filing Date: 10.05.2006
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), G01R 27/28 (2006.01)
Applicants: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY [US/US]; Mail Code 201-85, 1200 East California Boulevard, Pasadena, California 91125 (US) (For All Designated States Except US).
ROSAKIS, Ares J. [US/US]; (US) (For US Only).
HUANG, Yonggang [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: ROSAKIS, Ares J.; (US).
HUANG, Yonggang; (US)
Agent: HARRIS, Scott C.; 12390 El Camino Real, San Diego, California 92130 (US)
Priority Data:
60/679,328 10.05.2005 US
60/723,302 04.10.2005 US
Title (EN) TECHNIQUES AND DEVICES FOR CHARACTERIZING SPATIALLY NON-UNIFORM CURVATURES AND STRESSES IN THIN-FILM STRUCTURES ON SUBSTRATES WITH NON-LOCAL EFFECTS
(FR) TECHNIQUES ET DISPOSITIFS DE CARACTERISATION DE COURBURES NON UNIFORMES D'UN POINT DE VUE SPATIAL ET DE CONTRAINTES DE STRUCTURES A FILM MINCE SUR DES SUBSTRATS A EFFETS NON LOCAUX
Abstract: front page image
(EN)Techniques and devices are described to use spatially-varying curvature information of a layered structure to determine stresses at each location with non-local contributions from other locations of the structure. For example, a local contribution to stresses at a selected location on a layered structure formed on a substrate is determined from curvature changes at the selected location and a non-local contribution to the stresses at the selected location is also determined from curvature changes at all locations across the layered structure. Next, the local contribution and the non-local contribution are combined to determine the total stresses at the selected location. Techniques and devices for determining a misfit strain between a film and a substrate on which the film is deposited are also described.
(FR)L'invention concerne des techniques et des dispositifs dans lesquels sont utilisées des informations de courbure variables d'un point de vue spatial d'une structure à couches pour déterminer les contraintes au niveau de chaque emplacement avec des contributions non locales d'autres emplacements de la structure. Par exemple, une contribution locale aux contraintes d'un emplacement sélectionné sur une structure à couches formée sur un substrat est déterminée à partir des changements de courbure au niveau de l'emplacement sélectionné, et une contribution non locale aux contraintes de l'emplacement sélectionné est également déterminée à partir des changements de courbure au niveau de tous les emplacements de la structure à couches. La contribution locale et la contribution non locale sont ensuite combinées pour déterminer les contraintes totales au niveau de l'emplacement sélectionné. L'invention concerne également des techniques et des dispositifs permettant de déterminer une contrainte inadaptée entre un film et un substrat sur lequel est déposé le film.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)