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1. (WO2006119977) A SIX-MIRROR EUV PROJECTION SYSTEM WITH LOW INCIDENCE ANGLES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/119977    International Application No.:    PCT/EP2006/004354
Publication Date: 16.11.2006 International Filing Date: 10.05.2006
IPC:
G02B 17/06 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
MANN, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MANN, Hans-Jürgen; (DE)
Agent: SAWODNY, Michael; Dreiköniggasse 10, 89073 Ulm (DE)
Priority Data:
60/680,663 13.05.2005 US
Title (EN) A SIX-MIRROR EUV PROJECTION SYSTEM WITH LOW INCIDENCE ANGLES
(FR) SYSTEME DE PROJECTION EUV A SIX MIROIRS COMPRENANT DES ANGLES DE FAIBLE INCIDENCE
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a projection system for guiding light with wavelengths < 193 nm from an object plane to an image plane, comprising at least a first mirror (M1), a second mirror (M2), a third mirror (M3), a fourth mirror (M4), a fifth mirror (M5) and a sixth mirror (M6) centered around an optical axis and being arranged along the optical axis, with the light traveling from the object plane to the first mirror, then from the first mirror (M1) to the second mirror (M2), then from the second mirror (M2) to the third mirror (M3), then from the third mirror (M3), the fourth mirror (M4), then from the fourth mirror to the fifth mirror (M5) and then from the fifth mirror (M5) to the sixth mirror (M6), The invention is characterized in that the first mirror (M1) is arranged along the optical axis (HA) geometrically between the fifth mirror (M5) and the sixth mirror (M6), and the third mirror (M3) is a convex mirror.
(FR)L'invention concerne un système de projection permettant de guider un rayonnement avec des longueurs d'ondes < de 193 nm d'un plan d'objet à un plan d'image et comprenant au moins un premier miroir (M1), un deuxième miroir (M2), un troisième miroir (M3), un quatrième miroir (M4), un cinquième miroir (M5) et un sixième miroir (M6) centrés autour d'un axe optique et disposés le long de celui-ci, le rayonnement se déplaçant du plan d'objet au premier miroir, puis du premier miroir (M1) au second miroir (M2), puis du second miroir (M2) au troisième miroir (M3), puis du troisième miroir (M3) au quatrième miroir (M4), puis du quatrième miroir au cinquième miroir (M5) et puis du cinquième miroir (M5) au sixième miroir (M6). Le système selon l'invention est caractérisé en ce que le premier miroir (M1) est disposé le long de l'axe optique (HA) de manière géométrique entre le cinquième miroir (M5) et le sixième miroir (M6) et en ce que le troisième miroir (M3) est un miroir convexe.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)