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1. (WO2006119367) TARGET ASSEMBLIES, TARGETS BACKING PLATES, AND METHODS OF TARGET COOLING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/119367    International Application No.:    PCT/US2006/016994
Publication Date: 09.11.2006 International Filing Date: 02.05.2006
Chapter 2 Demand Filed:    30.11.2006    
IPC:
C23C 14/34 (2006.01)
Applicants: HONEYWELL INTERNATIONAL INC. [US/US]; 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07962 (US) (For All Designated States Except US).
HORT, Werner, H. [DE/US]; (US) (For US Only).
SAYLES, Scott, R. [US/US]; (US) (For US Only).
SPEZIALE, Vince [US/US]; (US) (For US Only).
FERRASSE, Stephane [FR/US]; (US) (For US Only).
DETLAFF, Harold, A. [US/US]; (US) (For US Only).
WRIGHT, Stuart, D. [US/US]; (US) (For US Only).
ALFORD, Frank [US/US]; (US) (For US Only).
WRAGG, Andrew, N. A. [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: HORT, Werner, H.; (US).
SAYLES, Scott, R.; (US).
SPEZIALE, Vince; (US).
FERRASSE, Stephane; (US).
DETLAFF, Harold, A.; (US).
WRIGHT, Stuart, D.; (US).
ALFORD, Frank; (US).
WRAGG, Andrew, N. A.; (GB)
Agent: LATWESEN, David, G.; Wells St. John P.S., 601 W First Avenue, Ste. 1300, Spokane, WA 99201 (US)
Priority Data:
60/677,198 02.05.2005 US
Title (EN) TARGET ASSEMBLIES, TARGETS BACKING PLATES, AND METHODS OF TARGET COOLING
(FR) ENSEMBLES CIBLES, PLAQUES DE SUPPORT DE CIBLES ET PROCEDES DE REFROIDISSEMENT DE CIBLES
Abstract: front page image
(EN)The invention includes backing plates having coolant deflectors with at least a portion of each of the deflectors being nonlinear. Projections projecting from the backing plate are configured to insert into openings within a sputtering target. The invention includes targets having at least one opening to receive a fastener extending into the target through a back surface. The invention includes a target assembly having projections projecting from the backing plate and insertable within openings within the target. The invention includes a target assembly having a plurality of coolant deflectors disposed between the target and the backing plate. A segment of each of the deflectors is nonlinear. The invention includes methods of cooling a target. Coolant deflectors are disposed within a gap between the target and a backing plate with coolant deflectors being nonlinear along at least a portion of their length.
(FR)L'invention se rapporte à des plaques de support comportant des déflecteurs caloporteurs qui sont tels qu'au moins une partie de chacun de ces déflecteurs est non linéaire. Des protubérances en saillie à partir de la plaque de support sont conçues pour être insérées dans des ouvertures à l'intérieur d'une cible de pulvérisation cathodique. L'invention se rapporte à des cibles ayant au moins une ouverture conçue pour recevoir une attache s'étendant à l'intérieur de la cible à travers une surface arrière. L'invention se rapporte à un ensemble cible ayant des protubérances en saillie à partir de la plaque de support et pouvant être insérées à l'intérieur d'ouvertures ménagées dans la cible. L'invention se rapporte à un ensemble cible ayant une pluralité de déflecteurs caloporteurs disposés entre la cible et la plaque de support. Un segment de chacun des déflecteurs est non linéaire. L'invention se rapporte à des procédés de refroidissement d'une cible. Des déflecteurs caloporteurs sont disposés à l'intérieur d'un espace entre la cible et une plaque de support de sorte que les déflecteurs caloporteurs non linéaires soient disposés suivant au moins une partie de leur longueur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)