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1. (WO2006119011) VERSATILE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CONTROLLER WITH STATISTICALLY REPEATABLE RESPONSE TIMES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/119011    International Application No.:    PCT/US2006/016212
Publication Date: 09.11.2006 International Filing Date: 28.04.2006
IPC:
G06F 15/00 (2006.01), G06F 19/00 (2011.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 6 Shattuck Road, Andover, Massachusetts 01810 (US) (For All Designated States Except US).
ROZENBOIM, Leonid [IL/US]; (US) (For US Only).
GOSCH, David, Michael [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: ROZENBOIM, Leonid; (US).
GOSCH, David, Michael; (US)
Agent: BEFFEL, Ernest, J., Jr.; HAYNES BEFFEL & WOLFELD LLP, P.O. Box 366, Half Moon Bay, California 94019 (US)
Priority Data:
60/676,770 02.05.2005 US
11/411,005 25.04.2006 US
Title (EN) VERSATILE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CONTROLLER WITH STATISTICALLY REPEATABLE RESPONSE TIMES
(FR) CONTROLEUR POLYVALENT DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS AVEC DES TEMPS DE REPONSE STATISTIQUEMENT REPETITIFS
Abstract: front page image
(EN)The I/O controller with related processes used for semiconductor manufacturing in which a tool host can delegate data collection and monitoring and control tasks (127). Wherein the process I/O controllers can perform more than one task of data collection or monitoring or control and response to commands from a tool host with statistically repeatable performance and precision. The embodiments described herein use prioritized real time operating systems to control the semiconductor manufacturing tool and data collection from tools associated with the sensors. The statistically repeatable responsiveness to selected commands and to sensor inputs during the selected recipe steps effectively reduces jitter.
(FR)La présente invention concerne des contrôleurs E/S de processus, destinés à la fabrication de semi-conducteurs, auxquels un hôte d'outils peut transmettre les tâches de collecte de données, de surveillance et de commande. L'invention concerne plus particulièrement des contrôleurs E/S de processus qui peuvent effectuer plus d'une opération de collecte de données, de surveillance, de contrôle et de réponse aux commandes d'un hôte d'outils avec des performances et une précision statistiquement répétitives. Les modes de réalisation décrits utilisent des systèmes d'exploitation prioritisés en temps réel pour contrôler la fabrication d'outils semi-conducteurs et la collecte de données à partir d'un outil associé à des capteurs. La capacité de réponse statistiquement répétitive aux commandes sélectionnées et aux entrées de capteurs pendant les stades de réception sélectionnés permet de réduire efficacement la gigue.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)