WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Machine translation
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/118545    International Application No.:    PCT/SG2006/000107
Publication Date: 09.11.2006 International Filing Date: 27.04.2006
G01N 3/30 (2006.01)
Applicants: AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH [SG/SG]; 20 Biopolis Way, #07-01 Centros, Singapore 138668 (SG) (For All Designated States Except US).
ILLINOIS TOOLS WORKS INC. [--/US]; 3600 West Lake Ave, Glenview, IL 60026 (US) (For All Designated States Except US).
TSAI, Kuo Tsing [MY/SG]; (SG) (For US Only).
WONG, Ee Hua [SG/SG]; (SG) (For US Only).
RAJOO, Ranjan s/o [SG/SG]; (SG) (For US Only)
Inventors: TSAI, Kuo Tsing; (SG).
WONG, Ee Hua; (SG).
RAJOO, Ranjan s/o; (SG)
Agent: BOGSCH, Adam; Viering, Jentschura & Partner, Rochor Post Office, Rochor Road, P.O. Box 1088, Singapore 911833 (SG)
Priority Data:
60/676,196 29.04.2005 US
Abstract: front page image
(EN)A micro-impact testing apparatus for measuring the impact characteristics of a microelectronics specimen exposed to an impact thereon. The apparatus comprises of a specimen holder for receiving a specimen to be tested, and an impact device. The impact device comprises of an impact head, a support member, at least one connecting element and a first flexural spring. The support member is connected to the connecting element in that the first flexural spring is firmly attached with its one end to the support member and with its other end to the connecting element. A second flexural spring, being at least substantially identical to said first flexural spring, is firmly attached with its one end to the connecting element and with its other end to the impact head so that the ends of the first and second flexural springs define, in an unloaded state of the flexural springs, a rectangle. The impact head is moveable transversally with respect to the first and second flexural springs along a linear line between a spring-loaded position and an impact position thereof. The specimen holder is aligned with the impact device such that the specimen is arranged in said impact position of the impact head so that the impact head is capable of impacting on the specimen after traveling from its loaded position towards its impact position along said linear line upon release thereof from said loaded position.
(FR)L'invention concerne un appareil d'essai de micro-impact destiné à mesurer les caractéristiques d'impact d'un échantillon micro-électronique exposé à un impact sur celui-ci. L'appareil comprend un porte-échantillon destiné à recevoir un échantillon à essayer ainsi qu'un dispositif d'impact. Le dispositif d'impact comprend une tête d'impact, un élément de support, au moins un élément de connexion ainsi qu'un premier ressort de flexion. L'élément de support est relié à l'élément de connexion de manière que le premier ressort de flexion est fixé solidement par une extrémité à l'élément de support et par son autre extrémité à l'élément de connexion. Un second ressort de flexion, lequel est au moins sensiblement identique audit premier ressort de flexion, est fixé fermement par sa première extrémité à l'élément de connexion et par son autre extrémité à la tête d'impact, de manière que les extrémités des premier et second ressorts de flexion définissent, à l'état non chargé des ressorts de flexion, un rectangle. La tête d'impact est mobile transversalement par rapport aux premier et second ressorts de flexion le long d'une ligne linéaire entre une position chargée par ressort et sa position d'impact. Le porte-échantillon est aligné avec le dispositif d'impact de manière que l'échantillon est disposé dans ladite position d'impact de la tête d'impact, de telle sorte que la tête d'impact est capable d'avoir un impact sur l'échantillon après avoir parcouru un chemin depuis sa position chargée vers sa position d'impact le long de ladite ligne linéaire, lors de sa libération de ladite position chargée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)