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1. (WO2006118152) VISUAL INSPECTION APPARATUS, VISUAL INSPECTION METHOD AND PERIPHERY INSPECTION UNIT ATTACHABLE TO VISUAL INSPECTION APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/118152    International Application No.:    PCT/JP2006/308759
Publication Date: 09.11.2006 International Filing Date: 26.04.2006
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP) (For All Designated States Except US).
YOKOTA, Atsutoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HEBIISHI, Hiroyasu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
DOSAKA, Shinichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YOKOTA, Atsutoshi; (JP).
HEBIISHI, Hiroyasu; (JP).
DOSAKA, Shinichi; (JP)
Agent: TANAI, Sumio; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku Tokyo 1048453 (JP)
Priority Data:
2005-129403 27.04.2005 JP
2005-202015 11.07.2005 JP
Title (EN) VISUAL INSPECTION APPARATUS, VISUAL INSPECTION METHOD AND PERIPHERY INSPECTION UNIT ATTACHABLE TO VISUAL INSPECTION APPARATUS
(FR) APPAREIL ET PROCEDE D’INSPECTION VISUELLE, ET UNITE D’INSPECTION DE PERIPHERIE FIXABLE A CE MEME APPAREIL
(JA) 外観検査装置及び外観検査方法並びに外観検査装置に装着可能な周縁部検査ユニット
Abstract: front page image
(EN)A visual inspection apparatus is provided with a macroscopic inspecting section (10) and a microscopic inspecting section (11), and the microscopic inspecting section (11) has an inspection stage (31) and a microscope (32) on a mounting plate (30). The inspection stage (31) is movable in an X direction, a Y direction and a Z direction, and is also rotatable in a &thetas; direction. Furthermore, a periphery inspecting section (12) is fixed on the mounting plate (30) for obtaining an enlarged image of a periphery of a wafer (W). The periphery inspecting section (12) is arranged to pick up an image of the periphery of the wafer (W) held by the inspection stage (31).
(FR)L’invention concerne un appareil d’inspection visuelle qui est équipé d’une section d’inspection macroscopique (10) et d’une section d’inspection microscopique (11). La section d’inspection microscopique (11) comporte une platine d’inspection (31) et un microscope (32) sur une plaque de montage (30). La platine d’inspection (31) peut être déplacée dans une direction X, une direction Y et une direction Z, et peut être aussi pivotée dans une direction &thetas;. En outre, une section d’inspection de périphérie (12) est fixée sur la plaque de montage (30) afin d'obtenir une image agrandie d'une périphérie d'une tranche (W). La section d’inspection de périphérie (12) est disposée afin de capter une image de la périphérie de la tranche (W) retenue par la platine d’inspection (31).
(JA) この外観検査装置は、マクロ検査部10とミクロ検査部11とを有し、ミクロ検査部11は検査ステージ31と顕微鏡32とが搭載板30に搭載されている。検査ステージ31はX方向、Y方向、Z方向にそれぞれ移動可能で、θ方向に回転することもできる。さらに、搭載板30には、ウェハWの周縁部の拡大像を取得する周縁部検査部12が固定されている。周縁部検査部12は、検査ステージ31に保持されたウェハWの周縁部を撮像するように配置されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)