(EN) A scanning mechanism for a scanning probe microscope is provided with an XY stage composed of a movable section (4), an XY elastic member, Z elastic members (7A, 7B) and a fixing section (5); a fixing table (1) for fixing the XY stage; an X piezoelectric body (2A) for moving the movable section (4) in an X direction; a Y piezoelectric body for moving the movable section (4) in a Y direction; a substrate (11) fixed on an upper plane of the movable section (4); a Z piezoelectric body (3) fixed on an upper plane of the substrate (11) for moving a moving object in a Z direction; a cover (9) for covering almost the entire movable section (4), X piezoelectric body (2A) and Y piezoelectric body; and a damping member (10) arranged between the movable section (4) and the cover (9) in the periphery of the Z piezoelectric body (3). An upper end of the Z piezoelectric body (3) is positioned higher than an upper plane of the cover (9).
(FR) L’invention porte sur un mécanisme de balayage pour un microscope à sonde de balayage pourvu d’un étage XY composé d’une section mobile (4), d’un membre élastique XY, de membres élastiques Z (7A, 7B) et d’une section de fixation (5) ; d’une table de fixation (1) pour fixer l’étage XY ; d’un corps piézoélectrique X (2A) pour déplacer la section mobile (4) dans une direction X ; d’un corps piézoélectrique Y pour déplacer la section mobile (4) dans une direction Y ; d’un substrat (11) fixé sur un plan supérieur de la section mobile (4) ; d’un corps piézoélectrique Z (3) fixé sur un plan supérieur du substrat (11) pour déplacer un objet mobile dans une direction Z ; d’un couvercle (9) pour couvrir presque l’ensemble de la section mobile (4), un corps piézoélectrique X (2A) et un corps piézoélectrique Y ; et d’un membre amortisseur (10) disposé entre la section mobile (4) et le couvercle (9) dans la périphérie du corps piézoélectrique Z (3). Une extrémité supérieure du corps piézoélectrique Z (3) est positionné plus haut que le plan supérieur du couvercle (9).
(JA) 走査型プローブ顕微鏡用走査機構は、可動部（４）とＸＹ弾性部材とＺ弾性部材（７Ａと７Ｂ）と固定部（５）とからなるＸＹステージと、ＸＹステージが固定される固定台（１）と、可動部（４）をＸ方向に移動させるＸ圧電体（２Ａ）と、可動部（４）をＹ方向に移動させるＹ圧電体と、可動部（４）の上面に固定された基板（１１）と、基板（１１）の上面に固定された、移動対象物をＺ方向に移動させるＺ圧電体（３）と、可動部（４）とＸ圧電体（２Ａ）とＹ圧電体のほとんどを覆うカバー（９）と、Ｚ圧電体（３）の周囲の可動部（４）とカバー（９）の間に設けられたダンピング部材（１０）とを有し、Ｚ圧電体（３）の上端がカバー（９）の上面よりも高い位置に位置している。