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1. (WO2006118117) SCANNING STAGE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/118117    International Application No.:    PCT/JP2006/308661
Publication Date: 09.11.2006 International Filing Date: 25.04.2006
IPC:
G01B 21/30 (2006.01), G01Q 10/00 (2010.01), G01Q 30/08 (2010.01), G01Q 30/20 (2010.01)
Applicants: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP) (For All Designated States Except US).
UE, Yoshihiro [JP/JP]; (For US Only)
Inventors: UE, Yoshihiro;
Agent: SUZUYE, Takehiko; c/o Suzuye & Suzuye 1-12-9, Toranomon, Minato-ku Tokyo 1050001 (JP)
Priority Data:
2005-128267 26.04.2005 JP
Title (EN) SCANNING STAGE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) ETAGE DE BALAYAGE POUR MICROSCOPE A SONDE DE BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡用走査ステージ
Abstract: front page image
(EN)A scanning stage is provided with a stage (9) for holding an observing sample and a scanning mechanism which can move the stage (9) in X, Y and Z directions. The scanning mechanism is provided with an XY stage composed of a movable section (4), an XY elastic member and Z elastic members (7A, 7B) and a fixing section (5); a fixing table (1) for fixing the XY stage; an X piezoelectric body (2A) for moving the movable section (4) in the X direction; a Y piezoelectric body for moving the movable section (4) in the Y direction; and a piezoelectric body (3) for moving the stage (9) in the Z direction. The Z piezoelectric body (3) is fixed on an upper plane of the movable section (4), and the stage (9) is fixed on an upper plane of the Z piezoelectric body (3) by a wax (10).
(FR)L’invention porte sur un étage de balayage doté d’un étage (9) pour maintenir un échantillon d’observation et d’un mécanisme de balayage qui peut déplacer l’étage (9) dans les directions X, Y et Z. Le mécanisme de balayage est pourvu d’un étage XY composé d’une section mobile (4), d’un membre élastique XY et de membres élastiques Z (7A, 7B), et d’une section de fixation (5) ; d’une table de fixation (1) pour fixer l’étage XY ; d’un corps piézoélectrique X (2A) pour déplacer la section mobile (4) dans la direction X ; d’un corps piézoélectrique Y pour déplacer la section mobile (4) dans la direction Y ; et d’un corps piézoélectrique (3) pour déplacer l’étage (9) dans la direction Z. Le corps piézoélectrique Z (3) est fixé sur un plan supérieur de la section mobile (4), et l’étage (9) est fixé sur un plan supérieur du corps piézoélectrique Z (3) par une cire (10).
(JA) 走査ステージは、観察試料を保持する試料台(9)と、試料台(9)をXYZ方向に移動可能な走査機構とを有している。走査機構は、可動部(4)とXY弾性部材とZ弾性部材(7Aと7B)と固定部(5)とからなるXYステージと、XYステージが固定される固定台(1)と、可動部(4)をX方向に移動させるX圧電体(2A)と、可動部(4)をY方向に移動させるY圧電体と、試料台(9)をZ方向に移動させる圧電体(3)とを有している。Z圧電体(3)は可動部(4)の上面に固定されており、試料台(9)はZ圧電体(3)の上面にワックス(10)で固定されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)