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1. (WO2006116577) ELECTROSTATIC CHUCK WITH SMART LIFT-PIN MECHANISM FOR PLASMA REACTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/116577    International Application No.:    PCT/US2006/015971
Publication Date: 02.11.2006 International Filing Date: 26.04.2006
IPC:
H01T 23/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 2881 Scott Boulevard, M/S 2061, Santa Clara, CA 95050 (US)
Inventors: HANAWA, Hiroji; (US).
NGUYEN, Andrew; (US).
COLLINS, Kenneth, S.; (US).
RAMASWAMY, Kartik; (US).
GALLO, Biagio; (US).
AL-BAYATI, Amir; (US)
Agent: WALLACE, Robert, M.; Law Office of Robert M. Wallace, Suite 102, 2112 Eastman Avenue, Ventura, CA 93003 (US)
Priority Data:
11/115,951 26.04.2005 US
Title (EN) ELECTROSTATIC CHUCK WITH SMART LIFT-PIN MECHANISM FOR PLASMA REACTOR
(FR) MANDRIN ELECTROSTATIQUE EQUIPE D'UN MECANISME DE LAMELLES ELEVATRICES, DESTINE A UN REACTEUR A PLASMA
Abstract: front page image
(EN)A lift pin assembly for use in a reactor for processing a workpiece includes plural lift pins extending generally parallel with a lift direction, each of the plural lift pins having a top end for supporting a workpiece and a bottom end. A lift table faces the bottom ends of the pins and is translatable in a direction generally parallel with the lift direction. A small forms detector senses a force exerted by the lift pins that is sufficiently large to indicate a chucked wafer and sufficiently small to avoid dechucking a wafer A large force detector senses a force exerted by the lift pins in a range sufficient to de-chuck the wafer.
(FR)L'invention concerne un mécanisme élévateur conçu pour être utilisé dans un réacteur destiné au traitement d'une pièce. Ce mécanisme comprend plusieurs lamelles élévatrices qui s'étendent parallèlement à un sens d'élévation, chaque lamelle élévatrice comportant une extrémité supérieure servant de support à une pièce et une extrémité inférieure. Une table élévatrice est orientée vers les extrémités inférieures des lamelles et peut être déplacée par translation dans un sens globalement parallèle au sens d'élévation. Un détecteur de petites forces permet de détecter une force exercée par les lamelles élévatrices qui est suffisamment grande pour indiquer qu'une plaquette est fixée en mandrin et suffisamment petite pour éviter de détacher une plaquette du mandrin. Un détecteur de grande force permet de détecter une force exercée par les lamelles élévatrices dans une plage de force suffisante pour détacher la plaquette.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)