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1. WO2006100755 - PROCESS FOR PRODUCING MOLDED PART AND MOLDING APPARATUS

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[ JA ]
明 細書

成型部品の製造方法および成型装置

技術分野

[0001] 本発明は成型部品の製造方法に関する。

背景技術

[0002] いわゆる光造形は広く知られる。光造形では、所定のキヤビティを区画する例えば 透明な型が用意される。キヤビティに流し込まれた光硬化樹脂材料には光が照射さ れる。光の照射に基づき光硬化樹脂材料は硬化する。光硬化樹脂材料は型から取り 出される。こうして成型部品は製造されることができる。

特許文献 1 :日本国特許第 3224299号公報

特許文献 2 :日本国特許第 3008216号公報

発明の開示

[0003] 微細な孔の形成にあたって、例えばキヤビティ内で型に固定される微細なピンが想 定される。しかしながら、光硬化樹脂材料が型に流し込まれる際、光硬化樹脂材料の 流入の圧力に基づきピンは破壊されてしまう。同様に、型から光硬化樹脂材料が取り 出される際にピンは破壊されてしまう。したがって、ピンは型に形成されることができな レ、。

[0004] 本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、簡単に微細な孔を形成することがで きる成型部品の製造方法および成型装置を提供することを目的とする。

[0005] 上記目的を達成するために、第 1発明によれば、型に光硬化樹脂材料を流し入れ る工程と、マスクで部分的に光の照射を遮断しつつ光硬化樹脂材料に向けて光を照 射する工程と、光の遮断に基づき残存する未硬化の光硬化樹脂材料を除去するェ 程とを備えることを特徴とする成型部品の製造方法が提供される。

[0006] こういった成型部品の製造方法では、光はマスクの周囲で光硬化樹脂材料を透過 する。マスクの周囲で光硬化樹脂材料は硬化する。こうして型に基づき成型部品の 外形は形作られることができる。その一方で、マスクは、光硬化樹脂材料に向かう光 を部分的に遮断する。その結果、光硬化樹脂材料ではマスクの陰に未硬化領域が

形成される。未硬化領域に残存する未硬化の光硬化樹脂材料は除去される。こうし て未硬化領域は例えば孔として形成される。未硬化領域の断面形状はマスクの形状 を反映することから、マスクの形状に応じて孔の断面形状は規定されることができる。 こうして、孔を有する成型部品は簡単に量産されることができる。例えばマスクが微細 に形成されれば、簡単に短時間で微細な孔は形成されることができる。し力も、マスク は任意の形状に設定されることができることから、様々な形状で孔は形成されることが できる。

[0007] こういった成型部品の製造方法では、光の照射にあたって、型を透過した光は吸収 されればよい。こうして型を透過した光が吸収されれば、型に向かって光の反射は回 避されること力できる。前述の未硬化領域に光は届かなレ、。未硬化領域はマスクの形 状を正確に反映することができる。光の吸収にあたって、例えば型の表面に光を吸収 する表面処理が施されればよレ、。

[0008] その他、成型部品の製造方法は、マスクの陰で光硬化樹脂材料に光を照射するェ 程をさらに備えてもよい。こういった光の照射によれば、前述の未硬化領域に少なくと も部分的に光は照射されることができる。こうして未硬化領域は完全に硬化した光硬 化樹脂材料で取り囲まれることができる。例えば有底孔は簡単に形成されることがで きる。

[0009] 以上のような成型部品の製造方法では、光の照射の遮断にあたってマスクは型に 固定されればよい。こうしてマスクが型に固定されれば、前述の未硬化領域は個々の 成型部品で同一の位置に正確に形成されることができる。その結果、成型部品は高 い精度で設計通りに量産されることができる。

[0010] 第 2発明によれば、型に光硬化樹脂材料を流し入れる工程と、マスクで部分的に光 の照射を遮断しつつ光硬化樹脂材料に向けて第 1方向に光を照射する工程と、マス クに向けて第 1方向に逆向きの第 2方向に光を照射する工程と、光の遮断に基づき 残存する未硬化の光硬化樹脂材料を除去する工程とを備えることを特徴とする成型 部品の製造方法が提供される。

[0011] こういった成型部品の製造方法では、第 1方向に照射される光はマスクの周囲で光 硬化樹脂材料を透過する。マスクの周囲で光硬化樹脂材料は硬化する。マスクは、 光硬化樹脂材料に向力う光を部分的に遮断する。こうして、光硬化樹脂材料ではマ スクの下方に未硬化領域が形成される。その一方で、第 1方向に逆向きの第 2方向 に照射される光はマスクに向かって照射される。マスクの陰で光硬化樹脂材料は硬 化する。このとき、第 2方向に照射される光の例えば強度や照射時間が調節されれば 、マスクの陰で未硬化領域が形成される。こうして未硬化領域に残存する未硬化の光 硬化樹脂材料が除去されれば、未硬化領域は例えば有底孔として形成されることが できる。未硬化領域の断面形状はマスクの形状を反映することから、マスクの形状に 応じて有底孔の断面形状は規定されることができる。こうして、有底孔を有する成型 部品は簡単に量産されることができる。しかも、第 2方向に照射される光の例えば強 度や照射時間の調節に基づき、有底孔の深さは調節されることができる。例えばマス クが微細に形成されれば、簡単に短時間で微細な有底孔は形成されることができる。 しかも、マスクは任意の形状に設定されることができることから、様々な形状で有底孔 は形成されることができる。

[0012] 第 3発明によれば、キヤビティを区画する少なくとも部分的に光透過型の型と、型に 向けて平行光を照射する光照射ユニットと、型に固定されて、キヤビティおよび光照 射ユニットの間に配置される光不透過性のマスクとを備えることを特徴とする成型装 置は提供される。

[0013] こういった成型装置では、型のキヤビティに例えば光硬化樹脂材料が流し込まれる と、光照射ユニットから平行光が照射される。型には、キヤビティおよび光照射ュニッ トの間に配置される光不透過性のマスクが固定されることから、平行光はマスクの周 囲で光硬化樹脂材料を透過する。マスクの周囲で光硬化樹脂材料は硬化する。こう して型に基づき成型部品の外形は形作られることができる。その一方で、平行光に基 づき光硬化樹脂材料ではマスクの陰にまっすぐに延びる未硬化領域が形成される。 未硬化領域で未硬化の光硬化樹脂材料が除去されれば、未硬化領域はそのまま例 えば孔として形成されること力できる。マスクの形状に応じて未硬化領域が形成される ことから、マスクの形状に応じて孔は規定されることができる。こうして、孔を有する成 型部品は簡単に量産されることができる。例えばマスクが微細に形成されれば、簡単 に短時間で微細な孔は形成されることができる。し力、も、マスクは任意の形状に設定 されることができる。様々な形状で孔は形成されることができる。

図面の簡単な説明

園 1]本発明の一実施形態に係る成型部品の構造を概略的に示す斜視図である。 園 2]成型部品の構造を概略的に示す斜視図である。

[図 3]図 1の 3_3線に沿つた部分拡大断面図である。

園 4]孔の配置を概略的に示す成型部品の部分拡大平面図である。

園 5]—具体例に係る成型装置の構造を概略的に示す図である。

園 6]下型の構造を概略的に示す斜視図である。

園 7]上型の構造を概略的に示す斜視図である。

[図 8]突起群の構造を概略的に示す上型の裏面の斜視図である。

園 9]下型に紫外線硬化樹脂材料を流し入れる工程を概略的に示す図である。

[図 10]下型の表面に上型の裏面を重ね合わせる工程を概略的に示す図である。 園 11]マスクで部分的に光の照射を遮断しつつ紫外線硬化樹脂材料に向けて光を 照射する工程を概略的に示す図である。

[図 12]型から取り出された紫外線硬化樹脂材料の構造を概略的に示す図である。 園 13]未硬化の紫外線硬化樹脂材料を除去する工程を概略的に示す図である。 園 14]成型シートから個々に成型部品を切り出す工程を概略的に示す図である。

[図 15]下型の製造にあたって、ガラス材料の表面にドライフィルムおよびマスクを配置 する工程を概略的に示す図である。

園 16]マスクに基づきガラス材料の表面でドライフィルムに露光および現像を実施す る工程を概略的に示す図である。

園 17]ガラス材料の表面に電錡に基づき金属材料を形成する工程を概略的に示す 図である。

園 18]金属材料に基づき製造された下型を概略的に示す図である。

[図 19]上型の製造にあたって、ガラス材料の表面にドライフィルムおよびマスクを配置 する工程を概略的に示す図である。

園 20]マスクに基づきガラス材料の表面でドライフィルムに露光および現像を実施す る工程を概略的に示す図である。

[図 21]ガラス材料およびドライフィルムの表面に電铸に基づき金属材料を形成するェ 程を概略的に示す図である。

[図 22]金属材料の表面に電铸に基づき金属材料を形成する工程を概略的に示す図 である。

[図 23]溶融したガラス材料の表面に金属材料の表面を押し付ける工程を概略的に示 す図である。

[図 24]ガラス材料の表面にフォトレジスト材料を形成する工程を概略的に示す図であ る。

[図 25]ガラス材料に基づき製造された上型を概略的に示す図である。

[図 26]他の具体例に係る成型装置の構造を概略的に示す図である。

[図 27]マスクで部分的に光の照射を遮断しつつ紫外線硬化樹脂材料に向けて第 1 方向に沿って光を照射する工程と、マスクに向けて第 1方向に逆向きの第 2方向に沿 つて光を照射する工程とを概略的に示す図である。

[図 28]未硬化の紫外線硬化樹脂材料を除去する工程を概略的に示す図である。

[図 29]型から取り出された紫外線硬化樹脂材料の構造を概略的に示す図である。

[図 30]マスクで部分的に光の照射を遮断しつつ紫外線硬化樹脂材料に向けて第 1 方向に光を照射する工程と、マスクで部分的に光の照射を遮断しつつ第 1方向に逆 向きの第 2方向に光を照射する工程とを概略的に示す図である。

発明を実施するための最良の形態

[0015] 以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。

[0016] 図 1は、本発明の一具体例に係る成型部品 11の構造を概略的に示す。成型部品 1 1は、例えば細胞を捕捉する捕捉板として用いられる。この成型部品 11は光硬化樹 脂製の本体 12を備える。ここでは、光硬化樹脂には例えば紫外線硬化樹脂材料が 用いられればよレ、。図 2を併せて参照し、本体 12の裏面には窪み 13が形成される。 この窪み 13に基づき本体 12には、平板部 12aと、平板部 12aの周囲を囲む枠体部 1 2bとが区画される。

[0017] 平板部 12aには複数の微細な貫通孔 14が穿たれる。貫通孔 14は平板部 12aの表 面から裏面に貫通する。図 3を併せて参照し、貫通孔 14は相互に平行にまっすぐに 平板部 12aを貫通する。貫通孔 14の断面は例えば円形に規定される。貫通孔 14は 、平板部 12aの表面側に区画される大径部 14aと、大径部 14aに連続しつつ平板部 12aの裏面まで延びる小径部 14bとを備える。大径部 14aおよび小径部 14bは円柱 空間を規定する。ここでは、大径部 14aおよび小径部 14bの軸心は一致する。

[0018] 大径部 14aの孔径は例えば 10 μ mに設定される。大径部 14aの深さは例えば 3 μ mに設定される。その一方で、小径部 14bの孔径は例えば 10 z m以下に設定されれ ばよレ、。ここでは、小径部 14bの孔径は例えば 2 x mに設定される。小径部 14bの深 さは例えば 7 z mに設定される。細胞の大きさは例えば 20 z m程度に規定される。貫 通孔 14の孔径は細胞の大きさよりも小さく規定されればよい。こうして貫通孔 14の大 径部 14aには細胞が捕捉されることができる。図 4に示されるように、貫通孔 14は例 えば等間隔に配置されればよい。なお、貫通孔 14の断面は円形に限られない。この とき、「孔径」は、貫通孔 14の断面の形状に拘わらず、例えば貫通孔 14の最大径で 定義されればよい。

[0019] 次に、成型部品 11の製造方法を簡単に説明する。図 5に示されるように、成型部品 11の製造にあたって成型装置 21が用意される。成型装置 21は、キヤビティ 22を区 画する型 23を備える。型 23は、上型 24と、表面で上型 24の裏面を受け止める下型 25とを備える。上型 24は例えば光透過性のガラス材料力構成されればよい。下型 25は例えば金属材料から構成されればよレ、。下型 25の表面には光を吸収する表面 処理が施されればよい。こうして型 23は少なくとも部分的に光透過性に構成される。

[0020] 成型装置 21は、型 23すなわち上型 24の表面に向き合わせられる光照射ユニット 2 6をさらに備える。光照射ユニット 26は型 23に向けて平行光 27を照射することができ る。平行光 27には例えば紫外線が用いられればよい。ここでは、平行光 27は、上型 24の表面や下型 25の表面に直交する垂直方向に照射される。上型 24は光透過性 に構成されることから、平行光 27は上型 24を透過する。その一方で、下型 25の表面 には光を吸収する表面処理が施されることから、平行光 27は下型 25に吸収される。

[0021] 図 6に示されるように、下型 25は例えば円盤状に形成される。下型 25の表面には 複数の窪み 28、 28…が区画される。窪み 28の形状は成型部品 11の輪郭に一致す る。窪み 28および上型 24で前述のキヤビティ 22は区画される。窪み 28内には、窪み 28の底面から立ち上がる突部 29が区画される。突部 29の輪郭は成型部品 11の窪 み 13の輪郭に一致する。突部 29の頂上面には平坦面 31が区画される。下型 25で は、窪み 28同士を隔てる仕切り壁 32が区画される。

[0022] その一方で、図 7に示されるように、上型 24は、下型 25と同様に、例えば円盤状に 形成される。上型 24の裏面には複数の突起群 33、 33…が区画される。突起群 33の 配置は下型 25の平坦面 31の配置の鏡像に相当する。図 8に示されるように、各突起 群 33は、上型 24の裏面から直立する複数の突起 34、 34…を備える。突起 34は円 柱状に形成される。突起 34の輪郭は貫通孔 14の大径部 14aの輪郭に一致する。各 突起 34の頂上面には光不透過性のマスク 35が固定される。マスク 35は例えば円形 に規定される。マスク 35の直径は貫通孔 14の小径部 14bの直径に一致する。こうし たマスク 35は例えば Ti膜から構成されればよい。

[0023] 図 9に示されるように、まず、下型 25の窪み 28に紫外線硬化樹脂材料 41が流し入 れられる。続いて、図 10に示されるように、下型 25の表面には上型 24の裏面が重ね 合わせられる。下型 25の平坦面 31上には上型 24の突起群 33が正確に位置決めさ れる。このとき、仕切り壁 32の頂上面と上型 24の裏面との間には所定の間隔が区画 されればよレ、。こうして上型 24の裏面および下型 25の表面の間すなわちキヤビティ 2 2内には紫外線硬化樹脂材料 41が充填される。

[0024] その後、図 11に示されるように、光照射ユニット 26から型 23に向かって平行光 27 が照射される。平行光 27は、前述されるように、下型 25の表面や上型 24の表面に直 交する垂直方向に照射される。上型 24は光透過性のガラス材料力構成されること から、平行光 27は上型 24を透過する。透過する平行光 27はマスク 35の周囲で紫外 線硬化樹脂材料 41を透過する。こうしてマスク 35の周囲で紫外線硬化樹脂材料 41 は硬化する。紫外線硬化樹脂材料 41では、光照射ユニット 26に近い領域から徐々 に硬化する。

[0025] このとき、マスク 35はキヤビティ 22および光照射ユニット 26の間に配置されることか ら、マスク 35は、紫外線硬化樹脂材料 41に向力平行光 27を遮断する。マスク 35の 陰すなわち下方にはマスク 35からまつすぐに延びる未硬化領域 42が形成される。下 型 25の表面には光を吸収する表面処理が施されることから、下型 25の表面で平行

光 27は吸収される。下型 25の表面で平行光 27の反射は回避される。未硬化領域 4 2には平行光 27は届かなレ、。未硬化領域 42以外の領域で紫外線硬化樹脂材料 41 が完全に硬化すると、紫外線硬化樹脂材料 41はキヤビティ 22から取り出される。

[0026] こうして、図 12に示されるように、紫外線硬化樹脂材料 41では、上型 24の突起 34 に基づき大径部 43が形成される。大径部 43は前述の貫通孔 14の大径部 14aに相 当する。続いて、紫外線硬化樹脂材料 41は例えば超音波に基づき洗浄される。図 1 3に示されるように、未硬化領域 42では未硬化の紫外線硬化樹脂材料 41は除去さ れる。こうして未硬化領域 42には貫通孔すなわち小径部 44が形成される。小径部 4 4は前述の貫通孔 14の小径部 14bに相当する。

[0027] こうして、図 14に示されるように、紫外線硬化樹脂材料 41に基づき成型シート 45が 形成される。仕切り壁 32の頂上面と上型 24の裏面との間には所定の間隔が規定さ れることから、成型シート 45には薄肉部 45aが形成される。この薄肉部 45aで切断や 溶断が実施される。切断や溶断に基づき成型シート 45から個々の成型部品 11が切 り出される。切断や溶断にあたって例えばダイシングブレードやレーザが用いられれ ばよレ、。その他、人間の手に基づき切断が実施されてもよい。こうした薄肉部 43aの 厚みは仕切り壁 32の頂上面と上型 24の裏面との間の間隔に基づき設定されること ができる。

[0028] 以上のような成型部品 11の製造方法によれば、紫外線硬化樹脂材料 41では、マ スク 35の働きで未硬化領域 42が形成される。未硬化領域 42で未硬化の紫外線硬 化樹脂材料 41が除去されれば、マスク 35の形状に応じた貫通孔が形成されることが できる。これまでの微細な貫通孔の形成方法に比べて、簡単に短時間で微細な貫通 孔は形成されることができる。同時に、下型 25および上型 24に基づき成型部品 11の 外形は形作られることができる。したがって、微細な貫通孔を有する成型部品 11は簡 単に量産されることができる。

[0029] しかも、マスク 35は上型 24に固定されることから、未硬化領域 42は個々の成型部 品 11で同一の位置に正確に形成されることができる。こうして成型部品 11は高い精 度で設計通りに量産されることができる。同時に、マスク 35は任意の形状に設定され ること力 Sできる。未硬化領域 42の断面形状はマスク 35の形状を反映することから、マ スク 35の形状に基づき様々な形状で微細な貫通孔は形成されることができる。加え て、下型 25の表面には光を吸収する表面処理が施されることから、下型 25で平行光 27の反射は回避される。未硬化領域 42に平行光 27は届かない。紫外線硬化樹脂 材料 41ではマスク 35の下方で正確に未硬化領域 42が形成されることができる。

[0030] 次に、下型 25の製造方法を簡単に説明する。図 15に示されるように、ガラス材料 5 1が用意される。このガラス材料 51の表面にドライフィルム 52が貼り付けられる。ドライ フイノレム 52の表面には、規定の形状にパターユングされたマスク 53が配置される。マ スク 53に基づきドライフィルム 52には露光および現像が実施される。図 16に示される ように、ガラス材料 51の表面には規定の形状のドライフィルム 52aが残存する。こうし てガラス材料 51およびドライフィルム 52aで下型 25の母型が形成される。すなわち、 ガラス材料 51およびドライフィルム 52aは下型 25の表面の形状に象られる。その後、 ドライフィルム 52a上のマスク 53は除去される。なお、ドライフィルム 52に代えてフォト レジスト液が用いられてもよい。

[0031] 続いて、図 17に示されるように、例えば周知の電铸に基づきガラス材料 51およびド ライフイルム 52aの表面に金属材料 54が形成される。こうして金属材料 54にはガラス 材料 51の表面の形状が転写される。その後、金属材料 54はガラス材料 51から剥離 される。こうして、図 18に示されるように、金属材料 54に基づき下型 25は製造される こと力 Sできる。こうした金属材料 54の表面には光を吸収する表面処理が施されればよ レ、。なお、電铸の実施に先立って、ガラス材料 51およびドライフィルム 52aの表面に は金属材料の蒸着に基づき A1や Crの金属薄膜(図示されず)が形成されてもよい。

[0032] 次に、上型 24の製造方法を簡単に説明する。図 19に示されるように、ガラス材料 6 1が用意される。このガラス材料 61の表面にドライフィルム 62が貼り付けられる。ドライ フィルム 62の表面に例えばマスク 63が配置される。マスク 63に基づきドライフィルム 62には露光および現像が実施される。こうして、図 20に示されるように、ガラス材料 6 1の表面には、規定の形状のドライフィルム 62aが残存する。ガラス材料 61およびドラ ィフィルム 62aの表面は上型 24の裏面の形状に象られる。その後、マスク 63は除去 される。なお、ドライフィルム 62に代えてフォトレジスト液が用いられてもよい。

[0033] 続いて、図 21に示されるように、例えば周知の電铸に基づきガラス材料 61およびド ライフイルム 62aの表面に金属材料 64が形成される。こうして金属材料 64の表面に はガラス材料 61およびドライフィルム 62aの表面の形状が転写される。その後、金属 材料 64はガラス材料 61およびドライフィルム 62aの表面から剥離される。

[0034] 続いて、図 22に示されるように、例えば周知の電铸に基づき金属材料 64の表面に 金属材料 65が形成される。こうして金属材料 65の表面には金属材料 64の表面の形 状が転写される。その後、金属材料 65は金属材料 64から剥離される。こうして、金属 材料 65で上型 24の母型が形成される。なお、電铸の実施に先立って、ガラス材料 6 1およびドライフィルム 62aの表面や金属材料 64の表面には金属材料の蒸着に基づ き A1や Crの金属薄膜(図示されず)が形成されればょレ、。

[0035] 続いて、図 23に示されるように、金属材料 65の表面は、溶融したガラス材料 66の 表面に押し付けられる。ガラス材料 66の表面には金属材料 65の表面の形状が転写 される。ここでは、ガラス材料 66には光透過性の材料が用いられればよい。冷却に基 づきガラス材料 66は硬化する。ガラス材料 66には前述の突起 34が形成される。その 後、ガラス材料 66は金属材料 65の表面から剥離される。

[0036] 続いて、図 24に示されるように、ガラス材料 66にはフォトレジスト材料 67が塗布され る。フォトレジスト材料 67には例えばマスク(図示されず)に基づき露光および現像が 実施される。フォトレジスト材料 67は規定の形状で残存する。こうして突起 34の頂上 面は規定の形状で露出する。その後、フォトレジスト材料 67に基づき金属材料(図示 されず)の蒸着が施される。金属材料には例えば Tiが用いられればよい。その後、フ オトレジスト材料 67は取り払われる。こうして図 25に示されるように、突起 34の頂上面 には Ti膜 68すなわちマスク 35が形成される。こうしてガラス材料 66に基づき上型 24 は製造されることができる。

[0037] その他、例えば図 26に示されるように、成型装置 21は、上型 24の表面に向き合わ せられる第 1光照射ユニット 71と、下型 25の裏面に向き合わせられる第 2光照射ュニ ット 72とを備えてもよい。第 1光照射ユニット 71は第 1方向 73に第 1平行光 74を照射 する。第 2光照射ユニット 72は、第 1方向 73に逆向きの第 2方向 75に第 2平行光 76 を照射する。したがって、第 1および第 2平行光 74、 76は相互に平行に規定される。 このとき、下型 25は例えば光透過性のガラス材料力構成されればよレ、。その他、前 述と均等な構成や構造には前述と同一の参照符号が付される。

[0038] 成型部品 11の製造にあたって、前述と同様に、上型 24の裏面および下型 25の表 面の間すなわちキヤビティ 22内には紫外線硬化樹脂材料 41が充填される。その後、 図 27に示されるように、第 1光照射ユニット 71から紫外線硬化樹脂材料 41に向かつ て第 1方向 73に第 1平行光 74が照射される。マスク 35の周囲で紫外線硬化樹脂材 料 41は硬化する。紫外線硬化樹脂材料 41では、第 1光照射ユニット 71に近い領域 力、ら徐々に硬化する。同様に、第 2光照射ユニット 72からマスク 35や紫外線硬化樹 脂材料 41に向かって第 2平行光 76が照射される。マスク 35の陰では第 2平行光 76 に基づき紫外線硬化樹脂材料 41は硬化する。

[0039] このとき、第 2平行光 76の強度や照射時間が調節される。こうした調節に基づきマ スク 35の陰では、紫外線硬化樹脂材料 41は第 2光照射ユニット 72に近い領域から 徐々に硬化する。こうして紫外線硬化樹脂材料 41は、マスク 35の陰で紫外線硬化樹 脂材料 41の裏面から表面に向かって所定の領域で硬化する。こうしてマスク 35の陰 すなわち下方では未硬化領域 77が形成される。この未硬化領域 77で未硬化の紫外 線硬化樹脂材料 41が例えば超音波洗浄に基づき除去されれば、未硬化領域 77に は有底孔 78が形成されることができる。

[0040] 以上のような成型部品 11の製造方法によれば、紫外線硬化樹脂材料 41では、第 1 および第 2平行光 74、 76に基づきマスク 35の陰で未硬化領域 77が形成される。こう した未硬化領域 77で未硬化の紫外線硬化樹脂材料 41が除去されれば、マスク 35 の形状に応じた有底孔 78が形成されることができる。簡単に短時間で有底孔 78は 形成されること力 Sできる。同時に、下型 25および上型 24に基づき成型部品 11の外形 は形作られることができる。したがって、有底孔 78を有する成型部品 11は簡単に量 産されること力できる。しかも、例えば第 2平行光 76の強度や照射時間が調節されれ ば、紫外線硬化樹脂材料 41では硬化する領域は調節されることができる。こうして有 底孔 78の深さは調節されることができる。

[0041] その他、図 30に示されるように、前述の下型 25の表面に光不透過性のマスク 35が 固定されてもよレ、。下型 25に固定されるマスク 35の配置は、上型 24に固定されるマ スク 35の配置に揃えられればよい。その他、前述と均等な構成や構造には同一の参 照符号画布される。こうして第 1平行光 74に基づきマスク 35の周囲で紫外線硬化樹 脂材料 41は硬化する。同様に、第 2平行光 76に基づきマスク 35の周囲で紫外線硬 化樹脂材料 41は硬化する。マスク 35、 35の配置は揃えられることから、マスク 35同 士の間には未硬化領域 79が形成されることができる。この未硬化領域 79で未硬化 の紫外線硬化樹脂材料 41が例えば超音波洗浄に基づき除去されれば、未硬化領 域 79には貫通孔が形成されることができる。