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1. WO2006093782 - SOURCE MATERIAL DISPENSER FOR EUV LIGHT SOURCE

Publication Number WO/2006/093782
Publication Date 08.09.2006
International Application No. PCT/US2006/006409
International Filing Date 24.02.2006
IPC
H05G 2/00 2006.01
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
CPC
H05G 2/003
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
H05G 2/005
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
005containing a metal as principal radiation generating component
H05G 2/006
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
006details of the ejection system, e.g. constructional details of the nozzle
Applicants
  • CYMER, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • BYKANOV, Alexander, N [RU]/[US] (UsOnly)
  • KHODYKIN, Oleh [US]/[US] (UsOnly)
Inventors
  • BYKANOV, Alexander, N
  • KHODYKIN, Oleh
Agents
  • HILLMAN, Matthew, K.
Priority Data
11/067,12425.02.2005US
11/174,44329.06.2005US
11/358,98321.02.2006US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SOURCE MATERIAL DISPENSER FOR EUV LIGHT SOURCE
(FR) DISTRIBUTEUR DE MATIERE SOURCE POUR UNE SOURCE LUMINEUSE EUV
Abstract
(EN)
A source material dispenser for an EUV light source is disclosed that comprises a source material reservoir, e.g. tube, that has a wall and is formed with an orifice. The dispenser may comprise an electro-actuatable element, e.g. PZT material, that is spaced from the wall and operable to deform the wall and modulate a release of source material from the dispenser. A heat source heating a source material in the reservoir may be provided. Also, the dispenser may comprise an insulator reducing the flow of heat from the heat source to the electro-actuatable element. A method of dispensing a source material for an EUV light source is also described. In one method, a first signal may be provided to actuate the electro- actuatable elements to modulate a release of source material and a second signal, different from the first, may be provided to actuate the electro-actuatable elements to unclog the orifice.
(FR)
L'invention concerne un distributeur de matière source pour une source lumineuse à UV extrême (EUV). Ce distributeur comprend un réservoir de matière source, par exemple un tube, présentant une paroi et un orifice. Ce distributeur peut comprendre un élément électroactionnable, par exemple une matière de titanate/zirconate de plomb (PZT), séparé de la paroi et permettant de déformer la paroi et de moduler une libération de matière source provenant du distributeur. Une source de chaleur réchauffant une matière source du réservoir peut être prévue. En outre, le distributeur peut comprendre un dispositif d'isolation permettant de réduire l'écoulement de chaleur, de la source de chaleur à l'élément électroactionnable. L'invention concerne également une méthode de distribution d'une matière source destinée à une source lumineuse EUV. Dans une méthode de l'invention, un premier signal peut être produit pour actionner les éléments électroactionnables, afin de moduler une libération de matière source; et un second signal, différent du premier signal, peut être produit pour actionner les éléments électroactionnables, afin de déboucher l'orifice.
Also published as
EP6748247
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