Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2006092109 - RASTER NEAR FIELD MICROSCOPY IN THE MICROWAVE AND TERAHERTZ RANGES WITH A SIGNAL PROCESSING DEVICE INTEGRATED IN THE MEASURING TIP

Publication Number WO/2006/092109
Publication Date 08.09.2006
International Application No. PCT/DE2005/000473
International Filing Date 16.03.2005
IPC
G01N 22/00 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
22Investigating or analysing materials by the use of microwaves
G01Q 10/00 2010.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
G01Q 60/18 2010.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY
60Particular types of SPM or apparatus therefor; Essential components thereof
18SNOM or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
G01Q 60/22 2010.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY
60Particular types of SPM or apparatus therefor; Essential components thereof
18SNOM or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
22Probes, their manufacture or their related instrumentation, e.g. holders
CPC
G01Q 60/22
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
60Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
18SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
22Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
Applicants
  • TECHNISCHE UNIVERSITÄT BRAUNSCHWEIG [DE]/[DE] (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GW, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NA, NE, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW)
  • SCHILLING, Meinhard [DE]/[DE] (UsOnly)
  • KAESTNER, Andre [DE]/[DE] (UsOnly)
  • STEWING, Felix [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventors
  • SCHILLING, Meinhard
  • KAESTNER, Andre
  • STEWING, Felix
Agents
  • GERSTEIN, Hans, Joachim
Priority Data
10 2005 010 363.403.03.2005DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) RASTERNAHFELDMIKROSKOP IM MIKROWELLEN- UND TERAHERTZBEREICH MIT AUF DER MESSSPITZE INTEGRIERTER SIGNALVERARBEITUNGSEINRICHTUNG
(EN) RASTER NEAR FIELD MICROSCOPY IN THE MICROWAVE AND TERAHERTZ RANGES WITH A SIGNAL PROCESSING DEVICE INTEGRATED IN THE MEASURING TIP
(FR) MICROSCOPE A CHAMP PROCHE A BALAYAGE DANS LA PLAGE DE FREQUENCE MICROONDE ET TERAHERTZ, DOTE D'UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT DES SIGNAUX INTEGRE A LA POINTE DE MESURE
Abstract
(DE)
Es ist ein abbildender Mikrowellen-Prober (1) mit mindestens einer Messspitze (5) an einem Messarm (2), wobei mindestens eine der Messspitzen (5) eine Antenne (6) zur Detektion oder Emission elektromagnetischer Signale trägt und die Messspitze im Nahfeld wesentlich kleiner als die Wellenlänge der elektromagnetischen Signale ist, einer Positioniereinrichtung zur Positionierung eines zu vermessenden Objektes (3) relativ zu der Messspitze (5) in mindestens einer Raumdimension (X, Y, Z), mit einer mit der Antenne (6) elektrisch verbundenen Signalverarbeitungseinrichtung (7) zur Umwandlung des Sensorsignals der Antenne (6) in ein Messsignal mit zur Auswertung geeigneter reduzierter Frequenz oder zum Umwandeln eines Koppelsignals mit reduzierter Frequenz in ein von der Antenne (6) zu emittierendes Signal beschrieben. Die Signalverarbeitungseinrichtung (7) ist angrenzend an die Antenne (6) auf der Messspitze (5) integriert und eine Mess-/Koppelsignalübertragungsstrecke (8) für das Mess- und/oder Koppelsignal verläuft mit einer so gewählten Frequenz von der Signalverarbeitungseinrichtung (7) zu einer von der Messspitze (5) entfernt angeordneten Messeinheit (9), dass das Mess- und/oder Koppelsignal ohne wesentliche Störung der Messumgebung transportierbar ist.
(EN)
An imaging microwave probe (1) with at least one measuring tip (5) on a measuring arm (2), whereby at least one of the measuring tips (5) has an antenna (6) for the detection or emission of electromagnetic signals and the measuring tip is significantly smaller in the near field than the wavelength of the electromagnetic signals, a positioning device for positioning of an object (3) for measuring relative to the measuring tip (5) in at least one spatial dimension (X, Y, Z), with a signal processing device (7) in electrical connection to the antenna (6) for conversion of the sensor signal from the antenna to a measured signal with a reduced frequency suitable for analysis or for conversion of a coupling signal with reduced frequency into a signal for transmission from the antenna (6) are described. The signal processing device (7) is integrated on the measuring tip (5) adjacent to the antenna (6) and a measured/coupling signal path (8) for the measured and/or coupling signal running from the signal processing device (7) to a measuring unit (9) arranged at a separation from the measuring tip at a frequency selected such that the measured and /or coupling signal is provided in the measuring region without significant distortion.
(FR)
L'invention concerne un échantillonneur microonde (1) d'imagerie comprenant au moins une pointe de mesure (5) sur un bras de mesure (2), au moins une pointe de mesure (5) portant une antenne (6) destinée à la détection ou à l'émission de signaux électromagnétiques et la pointe de mesure dans le champ proche étant sensiblement inférieure à la longueur d'onde des signaux électromagnétiques ; un dispositif de positionnement destiné au positionnement d'un objet à mesurer (3) par rapport à la pointe de mesure (5) dans au moins une dimension spatiale (X, Y, Z) ; un dispositif de traitement des signaux (7) électriquement relié à l'antenne (6) et destiné à la transformation du signal de détecteur de l'antenne (6) en un signal de mesure de fréquence réduite appropriée à l'évaluation ou à la transformation d'un signal de couplage à fréquence réduite en un signal à émettre par l'antenne (6). Le dispositif de traitement de signaux (7) est intégré à la pointe de mesure (5) à proximité de l'antenne (6). Un trajet de transmission des signaux de mesure/de couplage (8) destiné au signal de mesure et/ou de couplage est parcouru entre le dispositif de traitement des signaux (7) et une unité de mesure (9) placée loin de la pointe de mesure (5), avec une fréquence sélectionnée de telle façon que le signal de mesure et/ou de couplage puisse être transporté sans grande perturbation de l'environnement de mesure.
Latest bibliographic data on file with the International Bureau