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1. (WO2006091819) METHOD AND APPARATUS FOR EUV PLASMA SOURCE TARGET DELIVERY TARGET MATERIAL HANDLING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/091819    International Application No.:    PCT/US2006/006600
Publication Date: 31.08.2006 International Filing Date: 22.02.2006
IPC:
G21G 4/00 (2006.01)
Applicants: CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, California 92127-2413 (US) (For All Designated States Except US).
BYKANOV, Alexander, N. [RU/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BYKANOV, Alexander, N.; (US)
Agent: CRAY, William, C.; Cymer, Inc., Legal Dept., MS/4-2C, 17075 Thornmint Court, San Diego, California 92127-2413 (US)
Priority Data:
11/067,073 25.02.2005 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR EUV PLASMA SOURCE TARGET DELIVERY TARGET MATERIAL HANDLING
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE MANIPULATION DU MATERIAU CIBLE PERMETTANT LA DISTRIBUTION DE LA CIBLE D'UNE SOURCE EUV PLASMA
Abstract: front page image
(EN)An EUV target delivery system and method are disclosed which may comprise: a target material purification system connected to deliver liquid target material comprising: a first container and a second container in fluid contact with the target material reservoir; a filter intermediate the first chamber and the second chamber; a liquid target material agitation mechanism, or at least one purification chamber containing the target material in a form reactive with impurities contained in the inert gas reacting with such impurities and removing from the inert gas the impurities, or providing an evaporation chamber in fluid communication with an impurity chamber and with a target droplet mechanism liquid target material reservoir and containing liquid source material; heating the liquid source material to a first temperature sufficient to evaporate a first set of contaminants; heating the liquid source material to a second temperature sufficient to evaporate lithium.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé de distribution de cible EUV, lesquels peuvent comprendre: un système de purification de matériau cible monté de manière à distribuer un matériau cible liquide, comprenant un premier contenant et un second contenant en contact fluidique avec le réservoir de matériau cible; un filtre placé entre la première chambre et la seconde chambre; un mécanisme d'agitation du matériau cible liquide, ou au moins une chambre de purification contenant le matériau cible sous une forme réagissant avec des impuretés contenues dans le gaz inerte, de manière à produire une réaction du matériau cible avec les impuretés et l'extraction de ces dernières du gaz inerte, ou comprenant une chambre d'évaporation en communication fluidique avec une chambre d'impuretés, et comportant en outre un réservoir de matériau cible liquide pourvu d'un mécanisme de formation de gouttelettes, qui contient un matériau source liquide. Le matériau source liquide est chauffé à une première température suffisante pour provoquer l'évaporation d'un premier ensemble de contaminants, puis le matériau source liquide est chauffé à une seconde température suffisante pour provoquer l'évaporation du lithium.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)