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1. (WO2006091598) EFFUSION CELL VALVE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/091598    International Application No.:    PCT/US2006/006118
Publication Date: 31.08.2006 International Filing Date: 22.02.2006
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C30B 23/00 (2006.01)
Applicants: E-SCIENCE, INC. [US/US]; Suite 100, 596 Schommer Drive, Hudson, Wisconsin 54016 (US) (For All Designated States Except US).
BICHRT, Craig [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BICHRT, Craig; (US)
Agent: TOWNER, Alan; Pietragallo, Bosick & Gordon LLP, One Oxford Centre, 38th Floor, 301 Grant Street, Pittsburgh, Pennsylvania 15219 (US)
Priority Data:
60/655,124 22.02.2005 US
Title (EN) EFFUSION CELL VALVE
(FR) SOUPAPE DE CELLULE D'EFFUSION
Abstract: front page image
(EN)A valve for an effusion cell (10) is disclosed. The valve includes a valve seat (18, 118, 218) having an opening (19, 119, 219) in communication with an interior chamber (14) of a heating crucible (12). A disk-shaped valve member (30, 130, 230) is axially movable with respect to the valve seat (18, 118, 218) in order to increase or decrease the effective size of the valve seat opening (19, 119, 219). An outlet nozzle (20, 120, 220) may be provided downstream from the valve seat (18, 118, 218). The valve provides mechanical adjustment of the deposition rate of the evaporated material replacing thermal changes as the means to control the deposition rate or flux from the effusion cell (10). The nozzle (20, 120, 220), valve disk (30, 130, 230) and valve seat (18, 118, 218) may be made of machined graphite coated with a carbon-containing material such as pyrolytic graphite, silicon carbide, or the like. The effusion cell (10) may be used for molecular beam epitaxial growth of various materials incorporating mechanical control of the flux without negatively impacting the state of the art qualities of the deposited films with respect to deposition uniformity, surface morphology and background doping.
(FR)L'invention concerne une soupape destinée à une cellule d'effusion (10). La soupape comprend un siège de soupape (18, 118, 218) présentant une ouverture (19, 119, 219) en communication avec une chambre intérieure (14) d'un creuset de chauffage (12). Un élément de soupape en forme de disque (30, 130, 230) est mobile axialement par rapport au siège de soupape (18, 118, 218) afin d'augmenter ou de réduire la taille effective de l'ouverture (19, 119, 219) du siège de soupape. Un ajutage de sortie (20, 120, 220) peut être ménagé en aval du siège de soupape (18, 118, 218). La soupape permet un réglage mécanique du taux de dépôt du matériau évaporé en substitution des changements thermiques en tant que moyen de commande du taux de dépôt ou du flux de la cellule d'effusion (10). L'ajutage (20, 120, 220), le disque de soupape (30, 130, 230) et le siège de soupape (18, 118, 218) peuvent être en graphite usiné revêtu d'un matériau contenant du carbone tel que le graphite pyrolyitique, le carbure de silicium ou analogue. La cellule d'effusion (10) peut être utilisée pour le tirage épitaxial par faisceau moléculaire de divers matériaux avec une commande mécanique du flux sans affecter négativement l'état des qualités de la technique des couches minces déposées en ce qui concerne l'uniformité du dépôt, la morphologie de surface et le courant résiduel.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)