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1. (WO2006091291) APPARATUS AND PROCESS FOR CARBON NANOTUBE GROWTH
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/091291    International Application No.:    PCT/US2006/001456
Publication Date: 31.08.2006 International Filing Date: 13.01.2006
IPC:
C23C 16/00 (2006.01), C23C 16/26 (2006.01), C23C 16/50 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: MOTOROLA, INC. [US/US]; 1303 East Algonquin Road, Schaumburg, IL 60196 (US) (For All Designated States Except US).
COLL, Bernard, F. [US/US]; (US) (For US Only).
JOHNSON, Scott, V. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: COLL, Bernard, F.; (US).
JOHNSON, Scott, V.; (US)
Agent: NICHOLS, Daniel, K.; LABS Patent Porfolio Manager, 1303 East Algonquin Road, Schaumburg, IL 60196 (US)
Priority Data:
11/064,653 23.02.2005 US
Title (EN) APPARATUS AND PROCESS FOR CARBON NANOTUBE GROWTH
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE CROISSANCE DE NANOTUBES DE CARBONE
Abstract: front page image
(EN)An apparatus is provided for growing high aspect ratio emitters (26) on a substrate (13). The apparatus comprises a housing (10) defining a chamber and includes a substrate holder (12) attached to the housing and positioned within the chamber for holding a substrate having a surface for growing the high aspect ratio emitters (26) thereon. A heating element (17) is positioned near the substrate and being at least one material selected from the group consisting of carbon, conductive cermets, and conductive ceramics. The housing defines an opening (15) into the chamber for receiving a gas into the chamber for forming the high aspect ratio emitters (26).
(FR)L'invention concerne un appareil servant à faire croître des émetteurs à rapport de forme élevé (26) sur un substrat (13). Cet appareil comprend un logement (10) définissant une chambre et un support de substrat (12) fixé sur le logement et placé à l'intérieur de la chambre pour maintenir un substrat comportant une surface servant à la croissance des émetteurs à rapport de forme élevé (26). Un élément chauffant (17) est disposé à proximité du substrat et est constitué d'au moins un matériau choisi dans le groupe constitué par le carbone, des cermets conducteurs et des céramiques conductrices. Le logement définit une ouverture (15) dans la chambre, destinée à recevoir un gaz dans la chambre pour former les émetteurs à rapport de forme élevé (26).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)