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1. (WO2006090805) OSCILLATORY GYRO SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/090805    International Application No.:    PCT/JP2006/303330
Publication Date: 31.08.2006 International Filing Date: 23.02.2006
IPC:
G01C 19/56 (2006.01), G01P 9/04 (2006.01)
Applicants: SONY CORPORATION [JP/JP]; 7-35, Kitashinagawa 6-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410001 (JP) (For All Designated States Except US).
WATANABE, Shigeto; (For US Only).
HONDA, Junichi; (For US Only).
SASAKI, Shin; (For US Only).
TAKAHASHI, Kazuo; (For US Only).
INAGUMA, Teruo; (For US Only).
SUZUKI, Koji; (For US Only).
AIZAWA, Manabu; (For US Only)
Inventors: WATANABE, Shigeto; .
HONDA, Junichi; .
SASAKI, Shin; .
TAKAHASHI, Kazuo; .
INAGUMA, Teruo; .
SUZUKI, Koji; .
AIZAWA, Manabu;
Agent: NAKAMURA, Tomoyuki; c/o Miyoshi International Patent Office Toranomon Kotohira Tower 2-8, Toranomon 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Priority Data:
2005-047802 23.02.2005 JP
2005-050962 25.02.2005 JP
2005-066051 09.03.2005 JP
2005-374325 27.12.2005 JP
Title (EN) OSCILLATORY GYRO SENSOR
(FR) GYRO-CAPTEUR OSCILLATOIRE
(JA) 振動型ジャイロセンサ
Abstract: front page image
(EN)An oscillatory gyro sensor in which the size is reduced and a high Q value is through a simple arrangement. The oscillatory gyro sensor (1) comprises a supporting substrate (2) on which a circuit element is mounted and a wiring pattern having a plurality of lands (4) is formed and an oscillatory element (20) mounted on the surface (2-1) of the supporting substrate. The oscillatory element (20) includes a base portion (22) having a mounting surface (22-2) on which a plurality of terminals (25) connected with the lands are formed and an oscillator (23) having a surface opposed to the substrate on which a first electrode layer (27) protruding integrally in a cantilever form from the side periphery of the base portion (22) and having a surface flush with the mounting surface of the base portion (22), a piezoelectric layer (28) formed on the first electrode layer and second electrode layers (29, 30) are formed. The oscillatory element (20) is mounted on the supporting substrate (2) by joining each terminal (25) to the land (4) through a metal protrusion (26).
(FR)L'invention concerne un gyro-capteur oscillatoire dans lequel la taille est réduite et une valeur élevée de coefficients de qualité est obtenue par l'intermédiaire d'une disposition simple. Le gyro-capteur oscillatoire (1) comprend un substrat de support (2) sur lequel est monté un élément de circuit et est formé un motif de câblage comportant une pluralité d'îlots (4), et un élément oscillatoire (20) est monté sur la surface (2-1) du substrat de support. L'élément oscillatoire (20) inclut une partie de base (22) comportant une surface de montage (22-2) sur laquelle sont formées une pluralité de bornes (25), reliées avec les îlots, et un oscillateur (23) possédant une surface opposée au substrat sur laquelle sont formées une première couche d'électrode (27) dépassant intégralement sous la forme d'une manivelle depuis la périphérie latérale de la partie de base (22) et possédant une surface affleurant à la surface de montage de la partie de base (22), une couche piézoélectrique (28) formée sur la première couche d'électrode et des secondes couches d'électrode (29, 30). L'élément oscillatoire (20) est monté sur le substrat de support (2) en faisant joindre chaque borne (25) à l'îlot (4) par l'intermédiaire d'une protubérance métallique (26).
(JA) 簡易な構成によって小型化と高Q値を得ることで特性の向上を図る。本発明の振動型ジャイロセンサ1は、回路素子が実装されるとともに複数個のランド4を有する配線パターンが形成された支持基板2と、この支持基板の表面2-1に実装された振動素子20とを備え、振動素子20は、上記ランドに接続される複数の端子部25が形成された実装面22-2を有する基部22と、この基部22の側周部から片持ち梁状に一体に突設され基部22の実装面と同一面を構成し第1電極層27とこの第1電極層の上に積層された圧電層28とこの圧電層の上に積層された第2電極層29,30とがそれぞれ形成された基板対向面を有する振動子部23とを有するとともに、振動素子20は、各端子部25が金属凸部26を介してランド4に接合されることによって支持基板2上に実装されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)