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1. (WO2006089724) SPATIALLY RESOLVING RADIATION DETECTOR AND FABRICATING AND OPERATING METHODS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/089724    International Application No.:    PCT/EP2006/001589
Publication Date: 31.08.2006 International Filing Date: 22.02.2006
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01L 31/08 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-zeiss-strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
MÜLLER, Ulrich [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MÜLLER, Ulrich; (DE)
Agent: PATENTANWÄLTE RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER UND PARTNER; Kronenstrasse 30, 70174 Stuttgart (DE)
Priority Data:
60/656,941 28.02.2005 US
Title (EN) SPATIALLY RESOLVING RADIATION DETECTOR AND FABRICATING AND OPERATING METHODS
(FR) DÉTECTEUR DE RADIATIONS À RÉSOLUTION SPATIALE ET PROCÉDÉS DE FABRICATION ET D’EXPLOITATION
Abstract: front page image
(EN)Spatially resolving radiation detector and fabricating and operating methods. The invention relates to a spatially resolving radiation detector comprising a radiation-sensitive sensor element, to an aerial image measuring device equipped therewith, to a device for imaging error determination of an optical system comprising such an aerial image measuring device, to a microlithography projection exposure apparatus which is assigned such a device, and also to a fabricating method and an operating method therefor. According to the invention, the sensor element comprises a radiation-sensitive sensor structure element arrangement comprising at least one preferably nanoscale, punctiform or linear sensor structure element with an irradiation-dependent electrical measurement property, a minimum structure size of the sensor structure element in at least one direction being chosen so as to correspond to a predetermined spatial resolution of the radiation detector. Use e.g. for EUV aerial image measurement technology in microlithography.
(FR)L’invention concerne un détecteur de radiations à résolution spatiale et des procédés de fabrication et d’exploitation. L’invention porte sur un détecteur de radiations à résolution spatiale comprenant un élément détecteur sensible aux radiations, un dispositif de mesure d’image d’antenne équipé de celui-ci, un dispositif d’imagerie de détermination d’erreur d’un système optique comportant un tel dispositif de mesure d’image d’antenne, un appareil d’exposition par projection à microlithographie, auquel est assigné un tel dispositif, et aussi un procédé de fabrication et un procédé d’exploitation idoines. Selon l’invention, l’élément détecteur comprend une configuration d’éléments de structure de détection sensible aux radiations comprenant au moins une structure punctiforme ou linéaire, de préférence à l’échelle nanométrique avec une propriété de mesure électrique liée à l’irradiation, une taille de structure minimale de l’élément de structure de détection dans au moins une direction étant retenue pour correspondre à une résolution spatiale prédéterminée du détecteur de radiation. Le détecteur trouve des applications par exemple dans la technologie de mesure d’image d’antenne EUV en microlithographie.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)