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1. (WO2006088545) FAULT DETECTION AND CLASSIFICATION (FDC) USING A RUN-TO-RUN CONTROLLER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/088545    International Application No.:    PCT/US2005/045546
Publication Date: 24.08.2006 International Filing Date: 15.12.2005
IPC:
G06F 19/00 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
WILLIS, James, E. [US/US]; (US) (For US Only).
FUNK, Merrtt [US/US]; (US) (For US Only).
LALLY, Kevin [US/US]; (US) (For US Only).
PINTO, Kevin [US/US]; (US) (For US Only).
TOMOYASU, Masayuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
PETERSON, Raymond [US/US]; (US) (For US Only).
SUNDARARAJAN, Radha [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: WILLIS, James, E.; (US).
FUNK, Merrtt; (US).
LALLY, Kevin; (US).
PINTO, Kevin; (US).
TOMOYASU, Masayuki; (JP).
PETERSON, Raymond; (US).
SUNDARARAJAN, Radha; (US)
Agent: MAIER, Gregory, J.; Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C., 1940 Duke Street, Alexandria, VA 22314 (US)
Priority Data:
11/058,321 16.02.2005 US
Title (EN) FAULT DETECTION AND CLASSIFICATION (FDC) USING A RUN-TO-RUN CONTROLLER
(FR) DETECTION ET CLASSIFICATION DE PANNES (FDC) AU MOYEN D'UN CONTROLEUR A EXPLOITATION SEQUENTIELLE
Abstract: front page image
(EN)A method for implementing FDC 400 in an APC system including receiving an FDC model 430 from memory; providing the FDC model 430 to a process model calculation engine 425; computing a vector of predicted dependent process parameters using the process model calculation engine 425; receiving a process recipe comprising a set of recipe parameters 440, providing the process recipe to a process module 420; executing the process recipe to produce a vector of measured dependent process parameters 445; calculating a difference between the vector of predicted dependent process parameters and the vector of measured dependent process parameters 450; comparing the difference to a threshold value 455; and declaring a fault condition when the difference is greater than the threshold value 465.
(FR)L'invention concerne une méthode de mise en oeuvre de FDC dans un système de contrôle de traitement avancé (APC). Cette méthode consiste à recevoir un modèle FDC provenant d'une mémoire; à fournir ce modèle FDC à un moteur de calcul de modèles de traitement; à calculer un vecteur de paramètres de traitement dépendants prédits au moyen du moteur de calcul de modèles de traitement; à recevoir la recette de traitement comprenant un ensemble de paramètres de recette, en fournissant la recette de traitement au module de traitement; à exécuter la recette de traitement pour produire un vecteur de paramètres de traitement dépendants mesurés; à calculer une différence entre le vecteur de paramètres de traitement dépendants prédits et le vecteur de paramètres de traitement dépendants mesurés; à comparer la différence à une valeur seuil; et à déclarer un état de panne, lorsque la différence est supérieure à cette valeur seuil.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)