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1. (WO2006088186) APPARATUS FOR MEASURING SPACE BETWEEN TWO OBJECTS, METHOD FOR MEASURING SPACE BETWEEN TWO OBJECTS AND METHOD FOR CALIBRATING APPARATUS FOR MEASURING SPACE BETWEEN TWO OBJECTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/088186    International Application No.:    PCT/JP2006/302972
Publication Date: 24.08.2006 International Filing Date: 20.02.2006
Chapter 2 Demand Filed:    20.12.2006    
IPC:
G01B 11/14 (2006.01), G11B 21/21 (2006.01)
Applicants: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NAGOYA UNIVERSITY [JP/JP]; 1, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-shi, Aichi 4648601 (JP) (For All Designated States Except US).
FUKUZAWA, Kenji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUKUZAWA, Kenji; (JP)
Agent: ONDA, Hironori; 12-1, Ohmiya-cho 2-chome Gifu-shi, Gifu 5008731 (JP)
Priority Data:
2005-044786 21.02.2005 JP
Title (EN) APPARATUS FOR MEASURING SPACE BETWEEN TWO OBJECTS, METHOD FOR MEASURING SPACE BETWEEN TWO OBJECTS AND METHOD FOR CALIBRATING APPARATUS FOR MEASURING SPACE BETWEEN TWO OBJECTS
(FR) APPAREIL ET PROCEDE POUR MESURER LA DISTANCE ENTRE DEUX OBJETS ET PROCEDE D’ETALONNAGE DE L’APPAREIL POUR MESURER LA DISTANCE ENTRE DEUX OBJETS.
(JA) 二物体間の隙間測定装置、隙間測定方法、及び隙間測定装置の較正方法
Abstract: front page image
(EN)A measuring apparatus for measuring a space between two objects, which are a measuring object and a transparent plate. The apparatus is provided with a light source for emitting light to the transparent plate and an edge section, and a light intensity detecting apparatus for detecting intensity of a light entered. A first light path guides the light emitted from the light source to an interface on a measuring object side of the transparent plate, and guides a reflected light reflected by the interface to the light intensity detecting apparatus. A second light path guides the light emitted from the light source to the edge section of the measuring object, and guides a scattered light reflected by the edge section to the light intensity detecting apparatus by a path different from the first light path. A light path difference forming mechanism forms a light path difference between the first light path and the second light path.
(FR)La présente invention concerne un appareil pour mesurer la distance entre deux objets, composé d’un objet de mesure et d’un plateau transparent. L’appareil est muni d’une source de lumière pour émettre de la lumière vers le plateau transparent et une section de bord, et d’un détecteur d’intensité lumineuse destiné à détecter l’intensité d’une lumière en entrée. Un premier trajet lumineux guide la lumière émise depuis la source lumineuse vers une interface sur le coté d’un objet à mesurer du plateau transparent, et guide une lumière réfléchie par l’interface vers le détecteur d’intensité lumineuse. Un second trajet lumineux guide la lumière émise depuis la source de lumière vers l’arête extérieure de l’objet à mesurer, et guide une lumière diffuse réfléchie par l’arête extérieure vers le détecteur d’intensité lumineuse par un trajet différent du premier. Un mécanisme créant différents trajets lumineux crée une différence de trajet lumineux entre le premier et le second trajet lumineux.
(JA) 測定対象と透明板との二物体間の隙間を測定する隙間測定装置が提供される。その装置は、透明板及びエッジ部に光線を射出する光源と、入射する光の強度を検出する光強度検出装置とを備える。第1の光路は、光源の射出する光線を透明板の測定対象側の界面に導き、その界面にて反射した反射光を光強度検出装置に導く。第2の光路は、光源の射出する光線を測定対象のエッジ部に導き、そのエッジ部にて反射した散乱光を第1の光路とは異なる経路で光強度検出装置に導く。光路差形成機構は第1の光路と第2の光路との間に光路差を形成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)