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Pub. No.:    WO/2006/088159    International Application No.:    PCT/JP2006/302884
Publication Date: 24.08.2006 International Filing Date: 17.02.2006
H01J 37/295 (2006.01), H01J 37/141 (2006.01)
Applicants: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KYOTO INSTITUTE OF TECHNOLOGY [JP/JP]; 1, Matsugasaki-Hashikami-cho Sakyo-ku, Kyoto-shi Kyoto 6068585 (JP) (For All Designated States Except US).
JEOL Ltd. [JP/JP]; 1-2, Musashino 3-chome Akishima-shi, Tokyo 1968558 (JP) (JP only).
ENDOH, Hisamitsu; (For US Only).
ACHIHARA, Masato; (For US Only).
TSUNO, Katsushige; (For US Only).
OIKAWA, Tetsuo; (For US Only)
Inventors: ENDOH, Hisamitsu; .
ACHIHARA, Masato; .
TSUNO, Katsushige; .
OIKAWA, Tetsuo;
Agent: MIYOSHI, Hidekazu; Toranomon Kotohira Tower 2-8, Toranomon 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Priority Data:
2005-044190 21.02.2005 JP
(JA) 電子顕微鏡及び複合照射レンズ
Abstract: front page image
(EN)An electron microscope capable of re-constructing a microscope image free of the imaging aberration due to the imaging lens by using a hologram of diffraction pattern and a composite irradiation lens used in such an electron microscope. The electron microscope comprises an electron source (11), a condenser lens (12), a biprism (13) for splitting an electron beam fed from the condenser lens (12) into first and second coherent electron beams (L1, L2) parallel to each other, a composite irradiation lens (15) for making the first electron beam (L1) a parallel wave and making the second electron beam (L2) a converging wave converging at a predetermined distance, a specimen stage (16) for holding a specimen irradiated with the first electron beam (L1), a detector (17) for detecting a hologram of the diffraction pattern formed by the interference between the first and second electron beams (L1, L2), a computing unit (18) for re-constructing a microscope image of the specimen by subjecting the hologram fed from the detector (17) to predetermined Fourier transform, and a display (19) for displaying the re-constructed microscope image.
(FR)La présente invention concerne un microscope électronique qui permet de reconstruire une image de microscope sans les aberrations dues à la lentille de formation des images, ceci au moyen d'un hologramme d'image diffractionnelle et d'une lentille composite irradiante. Le microscope électronique comprend une source d'électrons (11), une lentille de condenseur (12), un biprisme (13) qui sert à diviser un faisceau d'électrons provenant de la lentille de condenseur (12) en un premier et un second faisceaux d'électrons cohérents (L1, L2) parallèles entre eux, une lentille composite irradiante (15) qui sert à transformer le premier faisceau d'électrons (L1) en une onde parallèle et le second faisceau d'électrons (L2) en une onde convergeant à une distance prédéterminée, une platine porte-objet (16) qui supporte une préparation irradiée par le premier faisceau d'électrons (L1), un détecteur (17) qui sert à détecter un hologramme de l'image diffractionnelle formée par l'interférence entre le premier et le second faisceaux d'électrons (L1, L2), une unité de calcul (18) qui reconstruit une image de microscope de la préparation en soumettant l'hologramme fourni par le détecteur (17) à une transformée de Fourier prédéterminée et un écran (19) qui affiche l'image de microscope reconstruite.
(JA)not available
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)