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1. (WO2006087045) MICROMECHANICAL MEMBRANE SENSOR COMPRISING A DOUBLE MEMBRANE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/087045    International Application No.:    PCT/EP2005/057023
Publication Date: 24.08.2006 International Filing Date: 21.12.2005
IPC:
B81B 3/00 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
ILLING, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WEBER, Heribert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHELLING, Christoph [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STAHL, Heiko [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WEISS, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ILLING, Matthias; (DE).
WEBER, Heribert; (DE).
SCHELLING, Christoph; (DE).
STAHL, Heiko; (DE).
WEISS, Stefan; (DE)
Common
Representative:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE)
Priority Data:
102005007540.1 18.02.2005 DE
Title (DE) MIKROMECHANISCHER MEMBRANSENSOR MIT DOPPELMEMBRAN
(EN) MICROMECHANICAL MEMBRANE SENSOR COMPRISING A DOUBLE MEMBRANE
(FR) CAPTEUR A MEMBRANE MICROMECANIQUE COMPORTANT UNE MEMBRANE DOUBLE
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Membransensors bzw. einen mit dem Verfahren hergestellten mikromechanischen Membransensor. Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor wenigstens eine erste Membran und eine im Wesentlichen über der ersten Membran liegende zweite Membran aufweist. Weiterhin ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor einen ersten Hohlraum und einen im Wesentlichen über dem ersten Hohlraum liegenden zweiten Hohlraum aufweist.
(EN)The invention relates to a method for producing a micromechanical membrane sensor or a membrane sensor produced by means of said method. According to the invention, the micromechanical membrane sensor comprises at least one first membrane and a second membrane arranged essentially above the first membrane. Furthermore, the micromechanical membrane sensor comprises a first cavity and a second cavity arranged essentially above the first cavity.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur à membrane micromécanique et un capteur à membrane micromécanique fabriqué au moyen dudit procédé. Selon l'invention, ledit capteur à membrane micromécanique comporte au moins une première membrane et une deuxième membrane située sur la deuxième. Par ailleurs, ledit capteur à membrane micromécanique comporte une première cavité et une deuxième cavité disposée essentiellement sur la première.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)