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1. (WO2006086665) MULTIPLE LOADLOCKS AND PROCESSING CHAMBER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/086665    International Application No.:    PCT/US2006/004795
Publication Date: 17.08.2006 International Filing Date: 09.02.2006
IPC:
B65G 1/00 (2006.01)
Applicants: MULTIBEAM SYSTEMS, INC. [US/US]; 2090 Duane Avenue, Santa Clara, CA 95054-3306 (US) (For All Designated States Except US)
Inventors: PARKER, William, N.; (US).
MILLER, Daniel, S.; (US).
RAVI, Tirunelveli, S.; (US)
Agent: JAFFER, David, H.; Pillsbury Winthrop Shaw Pittman LLP, Intellectual Property Group, P.O. Box 10500, McLean, VA 22102 (US)
Priority Data:
11/054,932 09.02.2005 US
Title (EN) MULTIPLE LOADLOCKS AND PROCESSING CHAMBER
(FR) SAS MULTIPLES ET CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abstract: front page image
(EN)A system for the processing of large substrates such as those employed in the manufacture of flat panel displays is disclosed. In a first embodiment, a loadlock assembly, comprising two loadlock chambers configured to accommodate a multiplicity of large substrates, is coupled to a processing chamber with an input/output port. The processing chamber and the loadlock assembly are configured to move relative to each other to allow positioning of: either of the two loadlock chambers with said port; and any one of the multiplicity of large substrates for passage through the port. In a second embodiment, input and output loadlock assemblies, each comprising two loadlock chambers, are coupled to a dual-ported processing chamber in a pass-through configuration, wherein the input and output loadlock assemblies each move independently relative to the processing chamber.
(FR)L'invention concerne un système permettant de traiter de grands substrats, tels que ceux utilisés pour produire des affichages à panneau plat. Dans un premier mode de réalisation, un ensemble de sas comprenant deux chambres à sas, configurées afin d'héberger une multiplicité de grands substrats, est couplé à une chambre de traitement à orifice d'entrée/sortie. La chambre de traitement et l'ensemble de sas sont configurés afin de se déplacer l'un par rapport à l'autre et de permettre le positionnement de l'une des deux chambres à sas dotée d'un orifice avec l'un quelconque des substrats de la multiplicité de grands substrats afin de le faire passer à travers l'orifice. Dans un second mode de réalisation, les ensembles de sas d'entrée et sortie, chacun deux comprenant deux chambres à sas, sont couplés à une chambre de traitement à deux orifices en configuration de passage, dans laquelle les ensembles de sas d'entrée et sortie se déplacent chacun indépendamment par rapport à la chambre de traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)