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1. (WO2006086637) APPARATUS AND METHOD FOR HARD-DOCK A TESTER TO A TILTABLE IMAGER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/086637    International Application No.:    PCT/US2006/004743
Publication Date: 17.08.2006 International Filing Date: 10.02.2006
IPC:
G01R 31/311 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: CREDENCE SYSTEMS CORPORATION [US/US]; 1421 California Circle, Milpitas, California 95035 (US) (For All Designated States Except US).
FRANK, Jonathan [US/US]; (US) (For US Only).
PORTUNE, Rick [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: FRANK, Jonathan; (US).
PORTUNE, Rick; (US)
Agent: BACH, Joseph; SUGHRUE MION, PLLC, 401 Castro Street, Suite 220, Mountain View, California 94041-2007 (US)
Priority Data:
11/054,094 10.02.2005 US
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR HARD-DOCK A TESTER TO A TILTABLE IMAGER
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE FIXATION D'UN DISPOSITIF D'ESSAI SUR UN IMAGEUR ORIENTABLE
Abstract: front page image
(EN)An apparatus and method are disclosed for hard-docking of a tester head to a DUT, while permitting the angular alignment of a specimen to be inspected to the optical axis of an optical testing tool. In one example, a system for orthogonal alignment of a specimen to an optical axis of a collection optics is provided. The system comprises a self-leveling tabletop; a specimen holder coupled to the tabletop and held at a fix orientation; collection optics coupled to the tabletop; a plunger coupled to the tabletop and operable to maintain the leveling orientation of the tabletop; a control valve sensing the leveling orientation of the tabletop and coupled to the plunger to control the operation of the plunger; and an aligner coupled to the tabletop and operable to change the alignment of the optical axis of the collection optics with respect to the specimen without changing the fixed orientation of the specimen holder.
(FR)La présente invention concerne un appareil et un procédé qui permettent de fixer une tête de testeur sur un dispositif à l'essai (DAE) tout en autorisant l'alignement angulaire d'un échantillon devant être inspecté, sur l'axe d'un instrument d'examen optique. Dans un exemple, on utilise un système d'alignement orthogonal d'un échantillon sur l'axe optique d'un élément optique de captation. Le système comprend un dessus de table à autoniveau; un porte-échantillon couplé au dessus de table et retenu suivant une orientation fixe; un élément optique de captation couplé au dessus de table; un piston qui est couplé au dessus de table et peut être commandé pour maintenir l'orientation de mise à niveau du dessus de table; une vanne de commande qui détecte l'orientation de mise à niveau du dessus de table et qui est couplée au piston pour commander le fonctionnement du piston; et un dispositif d'alignement qui est couplé au dessus de table et qui peut fonctionner pour changer l'alignement de l'axe optique de l'élément optique de captation par rapport à l'échantillon sans changer l'orientation fixe du porte-échantillon.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)