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1. (WO2006086486) APPARATUS FOR PROJECTING A REDUCED IMAGE OF A PHOTOMASK USING A SCHWARZSCHILD OBJECTIVE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/086486    International Application No.:    PCT/US2006/004458
Publication Date: 17.08.2006 International Filing Date: 07.02.2006
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: COHERENT, INC. [US/US]; 5100 Patrick Henry Drive, Santa Clara, California 95054 (US) (For All Designated States Except US).
FERBER, Joerg [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHMIDT, Henning [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: FERBER, Joerg; (DE).
SCHMIDT, Henning; (DE)
Agent: STALLMAN, Michael, A.; Stallman & Pollock LLP, 353 Sacramento Street, Suite 2200, San Francisco, California 94111 (US)
Priority Data:
60/651,193 09.02.2005 US
11/348,185 06.02.2006 US
Title (EN) APPARATUS FOR PROJECTING A REDUCED IMAGE OF A PHOTOMASK USING A SCHWARZSCHILD OBJECTIVE
(FR) APPAREIL DE PROJECTION D'UNE IMAGE REDUITE D'UN PHOTOMASQUE AU MOYEN D'UN OBJECTIF SCHWARZSCHILD
Abstract: front page image
(EN)An optical system for projecting an image of a photomask (26) on a substrate (50) , using a Schwarzs child objective includes an excimer laser, beam shaping optics for shaping a laser beam (22) from the laser and a beam-dividing prism (10) . The beam-dividing prism has a dividing-face including four facets (14A, 14B, 14C, 14D) inclined at an angle to each other. The four facets divide the shaped beam into four beam-portions (22A, 22B, 22C, 22D) propagating at an angle to the system axis (18) . The beam-portions overlap at the photomask (26) and mutually diverge into the entrance aperture (33) in the concave mirror (36) of the Schwarzschild objective such that all of the light in the beam portions is incident on the convex mirror (34) of the objective in an annular zone outside of the central obscuration zone of the convex mirror (36) . This essentially eliminates transfer losses normally caused by this obscuration zone .
(FR)L'invention concerne un système optique permettant de projeter une image d'un photomasque sur un substrat, au moyen d'un objectif Schwarzschild. Ce système comprend un laser excimer, un dispositif optique de formation de faisceau qui permet de former un faisceau laser à partir du laser, et un prisme de division de faisceau. Ledit prisme de division de faisceau possède une face de division pourvue de quatre facettes inclinées à un certain angle les unes par rapport aux autres. Ces quatre facettes permettent de diviser le faisceau formé en quatre parties de faisceau qui se propagent à un certain angle par rapport à l'axe du système. Les parties de faisceau se chevauchent au niveau du photomasque et divergent mutuellement dans l'ouverture d'entrée du miroir concave de l'objectif Schwarzschild, de telle manière que toute la lumière dans les parties du faisceau est incidente sur le miroir convexe de l'objectif dans une zone annulaire à l'extérieur de la zone d'obscurcissement centrale du miroir convexe. Ceci permet d'éliminer principalement des pertes de transfert généralement provoquées par cette zone d'obscurcissement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)