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1. (WO2006085527) TEMPERATURE SETTING METHOD FOR HEAT TREATING PLATE, TEMPERATURE SETTING DEVICE FOR HEAT TREATING PLATE, PROGRAM AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM RECORDING PROGRAM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/085527    International Application No.:    PCT/JP2006/302060
Publication Date: 17.08.2006 International Filing Date: 07.02.2006
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/38 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (For All Designated States Except US).
SHINOZUKA, Shinichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TOMITA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
UEMURA, Ryoichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
JYOUSAKA, Megumi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KATAYAMA, Kyoshige [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SHINOZUKA, Shinichi; (JP).
TOMITA, Hiroshi; (JP).
UEMURA, Ryoichi; (JP).
JYOUSAKA, Megumi; (JP).
KATAYAMA, Kyoshige; (JP)
Agent: KANEMOTO, Tetsuo; Hazuki International Shinjuku Akebonobashi Building 1-12, Sumiyoshi-cho Shinjuku-ku, Tokyo 162-0065 (JP)
Priority Data:
2005-035933 14.02.2005 JP
Title (EN) TEMPERATURE SETTING METHOD FOR HEAT TREATING PLATE, TEMPERATURE SETTING DEVICE FOR HEAT TREATING PLATE, PROGRAM AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM RECORDING PROGRAM
(FR) PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE TEMPÉRATURE POUR PLAQUE DE TRAITEMENT THERMIQUE, DISPOSITIF DE RÉGLAGE DE TEMPÉRATURE POUR PLAQUE DE TRAITEMENT THERMIQUE, PROGRAMME ET PROGRAMME D’ENREGISTREMENT AVEC SUPPORT D’ENREGISTREMENT LISIBLE MACHINE
(JA) 熱処理板の温度設定方法,熱処理板の温度設定装置,プログラム及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
Abstract: front page image
(EN)A hot plate temperature is set so as to form the line width of a resist pattern uniformly in a wafer plane. The hot plate of a PEB device is divided into a plurality of hot plate regions, with temperature setting being possible for each hot plate region. A temperature correction value for regulating the in-plane temperature of a wafer to be mounted on the hot plate is set for each hot plate region of the hot plate. The temperature correction value of each hot plate region of the hot plate is set for each treating recipe determined by a heating temperature and the type of a resist liquid.
(FR)Selon l’invention, une température de plaque chauffante est réglée pour constituer la largeur de ligne d’un motif de résist de manière uniforme dans un plan de plaquette. La plaque chauffante d’un dispositif PEB est divisée en une pluralité de régions de plaque chauffante, un réglage de température étant possible pour chaque région de plaque chauffante. Une valeur de correction de température pour réguler la température dans le plan d’une plaquette à monter sur la plaque chauffante est définie pour chaque région de la plaque chauffante. La valeur de correction de température de chaque région de la plaque chauffante est définie pour chaque recette de traitement déterminée par une température de chauffage et le type d’un liquide résist.
(JA) レジストパターンの線幅がウエハの面内で均一に形成されるように,熱板の温度設定を行う。  本発明においては,PEB装置の熱板は,複数の熱板領域に分割されており,各熱板領域毎に温度設定できるようになっている。熱板の各熱板領域には,熱板に載置されるウエハ面内の温度を調整するための温度補正値が,それぞれ設定される。この熱板の各熱板領域の温度補正値は,加熱温度及びレジスト液の種類によって定まる処理レシピ毎に設定される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)