WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2006083754) RADIANTLY HEATED CATHODE FOR AN ELECTRON GUN AND HEATING ASSEMBLY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/083754    International Application No.:    PCT/US2006/003175
Publication Date: 10.08.2006 International Filing Date: 27.01.2006
IPC:
G01N 23/04 (2006.01), G21K 5/10 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3 Marumouchi, 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (For All Designated States Except US).
SOGARD, Michael [US/US]; (US) (For US Only).
TAKITA, Mark [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: SOGARD, Michael; (US).
TAKITA, Mark; (US)
Agent: ROEDER, Steven, G.; THE LAW OFFICE OF STEVEN G. ROEDER, 5560 Chelsea Ave., La Jolla, CA 92037 (US)
Priority Data:
11/050,394 02.02.2005 US
Title (EN) RADIANTLY HEATED CATHODE FOR AN ELECTRON GUN AND HEATING ASSEMBLY
(FR) CATHODE POUR CANON A ELECTRONS CHAUFFEE PAR RAYONNEMENT ET ENSEMBLE CHAUFFANT
Abstract: front page image
(EN)A heating assembly (36) for heating a cathode (38) of an electron gun (30) of an exposure apparatus (10) includes a radiation source (42) and a beam shaper (44). The radiation source (42) generates a source beam (46). The beam shaper (44) receives the source beam (46) and selectively shapes the source beam (46) into a shaped beam (48) that is directed to the cathode (38). In certain embodiments, the beam shaper (44) can readily change the shape and intensity profile of the shaped beam (48) to achieve a desired electron beam (32) from the electron gun (30). In one embodiment, the radiation source (42) generates a pulsed source beam (46).
(FR)L'invention se rapporte à un ensemble chauffant (36) conçu pour chauffer une cathode (38) de canon à électrons (30) d'un appareil d'exposition (10) et comprenant une source de rayonnement (42) et un dispositif de mise en forme du faisceau (44). La source de rayonnement (42) génère un faisceau source (46). Le dispositif de mise en forme du faisceau (44) reçoit le faisceau source (46) et fixe sélectivement la forme du faisceau source (46) de manière à générer un faisceau formé (48) dirigé sur la cathode (38). Dans certains modes de réalisation, le dispositif de mise en forme du faisceau (44) peut facilement modifier le profil de forme et d'intensité du faisceau formé (48) de manière à réaliser un faisceau à électrons désiré (32) provenant du canon à électrons (30). Dans un mode de réalisation, la source de rayonnement (42) génère une faisceau source pulsé (46).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)