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1. (WO2006083376) Z-AXIS ACCELEROMETER WITH AT LEAST TWO GAP SIZES AND TRAVEL STOPS DISPOSED OUTSIDE AN ACTIVE CAPACITOR AREA
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/083376    International Application No.:    PCT/US2005/043206
Publication Date: 10.08.2006 International Filing Date: 30.11.2005
IPC:
G01P 15/00 (2006.01)
Applicants: FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. [US/US]; 6501 William Cannon Drive West, Austin, TX 78735 (US) (For All Designated States Except US).
MCNEIL, Andrew C. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: MCNEIL, Andrew C.; (US)
Agent: KING, Robert, L.; 7700 W. Parmer Lane, MD:PL02, Austin, TX 78729 (US)
Priority Data:
11/046,596 28.01.2005 US
Title (EN) Z-AXIS ACCELEROMETER WITH AT LEAST TWO GAP SIZES AND TRAVEL STOPS DISPOSED OUTSIDE AN ACTIVE CAPACITOR AREA
(FR) ACCELEROMETRE DANS L'AXE Z PRESENTANT AU MOINS LA TAILLE DE DEUX INTERVALLES ET BUTEES D'EXCURSION DISPOSEES A L'EXTERIEUR D'UNE ZONE ACTIVE DE CONDENSATEUR
Abstract: front page image
(EN)An accelerometer (10) includes a pair of conductive plates (36, 38) fixedly mounted on a substrate (12) surface, a structure coupled to the substrate surface and suspended above the conductive plates, and at least one protective shield (44, 46) mounted on the substrate surface. The structure includes two regions (28, 30) of differing total moments disposed above a respective conductive plate and separated by a flexure axis (26) about which the structure rotates during an acceleration normal to the substrate, each region (28, 30) having a substantially planar outer surface and an inner surface having a first corrugation (32, 34) formed thereon. For each of the two regions, an inner gap exists between the first corrugation and an opposing conductive plate, and an outer gap exists between the substantially planar outer surface and the opposing conductive plate, the outer gap being larger than the inner gap. The at least one protective shield (44, 46) is placed apart from either of the conductive plates (36, 38).
(FR)L'invention concerne un accéléromètre (10) qui inclut une paire de plaques conductrices (36, 38) montées de manière fixe sur une surface de substrat (12), une structure couplée à la surface de substrat, suspendue au-dessus des plaques conductrices, et au moins un écran protecteur (44, 46) monté sur la surface de substrat. La structure inclut deux régions (28, 30), de moments totaux différents, placées au-dessus d'une plaque conductrice respective et séparées par un axe de flexion (26) autour duquel tourne la structure pendant une accélération normale au substrat, chaque région (28, 30) présentant une surface extérieure sensiblement plane et une surface intérieure présentant, formée sur elle, une première ondulation (32, 34). Pour chacune des deux régions, il existe un intervalle intérieur entre la première ondulation et une plaque conductrice lui faisant face, tout comme il existe un intervalle extérieur entre la surface extérieure sensiblement plane et la plaque conductrice lui faisant face, l'intervalle extérieur étant plus grand que l'intervalle intérieur. Le au moins un écran protecteur (44, 46) est placé à distance de l'une ou l'autre des plaques conductrices (36, 38).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)