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1. (WO2006083356) SAFETY, MONITORING AND CONTROL SYSTEM FOR THERMAL REACTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/083356    International Application No.:    PCT/US2005/042201
Publication Date: 10.08.2006 International Filing Date: 17.11.2005
IPC:
F23G 7/06 (2006.01), F23G 5/50 (2006.01), F23N 5/24 (2006.01), F23N 5/08 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: CHIU, Ho-man Rodney; (US).
CLARK, Daniel, O.; (US).
CRAWFORD, Shaun, W.; (US).
JUNG, Jay, J.; (US).
LOLDJ, Yousseff, A.; (US).
VERMEULEN, Robbert; (US)
Agent: DUGAN, Brian, M.; DUGAN & DUGAN, PC, 55 South Broadway, Tarrytown, New York 10591 (US)
Priority Data:
10/991,740 18.11.2004 US
Title (EN) SAFETY, MONITORING AND CONTROL SYSTEM FOR THERMAL REACTOR
(FR) CARACTERISTIQUES DE SECURITE, DE SURVEILLANCE ET DE COMMANDE POUR UN REACTEUR DE REDUCTION THERMIQUE
Abstract: front page image
(EN)In one or more aspects, a thermal reactor apparatus is provided that may be used to treat industrial effluent fluids, for example waste effluent produced in semiconductor and liquid crystal display manufacturing processes. Specifically, the present invention may include a system comprising a controller, a reaction chamber adapted to be controlled by the controller, a conduit into the reaction chamber, a pilot disposed at a first end of the conduit within the reaction chamber, a sensor disposed at a second end of the conduit outside of the reaction chamber that is coupled to the controller and adapted to provide an indication to the controller whether the pilot is lit, and an actuator operable to open and close the conduit. Numerous other aspects of the invention are disclosed.
(FR)L'invention concerne dans un ou plusieurs aspects un appareil de réacteur thermique pouvant être utilisé pour traiter des fluides d'effluents industriels, notamment des effluents de déchets provenant des procédés de fabrication de semi-conducteurs et d'affichages à cristaux liquides. Cette invention concerne en particulier un système comprenant une unité de commande, une chambre de réaction conçue pour être commandée par l'unité de commande, un conduit placé dans la chambre de réaction, une veilleuse placée à une première extrémité du conduit placé à l'intérieur de la chambre de réaction, un capteur placé à une deuxième extrémité du conduit placé à l'extérieur de la chambre de réaction et qui est couplé à l'unité de commande et qui est permet d'indiquer à l'unité de commande si la veilleuse est allumée et un actionneur permettant d'ouvrir et de fermer le conduit. De nombreux autres aspects sont également décrits dans l'invention.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)