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1. (WO2006082863) MAGNETIC CIRCUIT DEVICE FOR MAGNETRON SPUTTERING AND ITS MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/082863    International Application No.:    PCT/JP2006/301694
Publication Date: 10.08.2006 International Filing Date: 01.02.2006
IPC:
C23C 14/35 (2006.01)
Applicants: HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome Minato-ku, Tokyo 1058614 (JP) (For All Designated States Except US).
NEOMAX KIKO Co., Ltd. [JP/JP]; 2977, Tahira, Yoshii-machi, Tano-gun, Gunma 3702115 (JP) (For All Designated States Except US).
YUASA, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KURIYAMA, Yoshihiko [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YUASA, Hiroaki; (JP).
KURIYAMA, Yoshihiko; (JP)
Agent: TAKAISHI, Kitsuma; Kagurazaka FN Bldg. 5F 67, Kagurazaka 6-chome Shinjuku-ku, Tokyo 162-0825 (JP)
Priority Data:
2005-026389 02.02.2005 JP
Title (EN) MAGNETIC CIRCUIT DEVICE FOR MAGNETRON SPUTTERING AND ITS MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE CIRCUITS MAGNETIQUES POUR PULVERISATION PAR MAGNETRON ET SON PROCEDE DE FABRICATION
(JA) マグネトロンスパッタリング用磁気回路装置及びその製造方法
Abstract: front page image
(EN)A magnetic circuit device for magnetron sputtering comprises an inner permanent magnet line (3) composed of permanent magnets (30) continuously provided in such a way that the top surfaces have poles of a predetermined polarity, an outer permanent magnet line (4) composed of permanent magnets (40) continuously provided in such a way that they surround the inner permanent magnet line (3) and the top surfaces have poles of the opposed polarity to that of the inner permanent magnet line (3), a magnetic yoke plate (2) holding the permanent magnets (30, 40) in a removable state, and nonmagnetic protective cover members (31, 41) each covering at least corresponding one of the permanent magnets (30, 40) and having a generally U-shaped cross-section. Each of the protective cover members (31, 41) is composed of a first side plate portion (31a, 41a) covering one side of the permanent magnet (30, 40) and mechanically fixed to the magnetic yoke plate (2), a second side plate portion (31b, 41b) covering the other side, and an upper plate portion (31c, 41c) connecting the side plate portions (31a, 31b; 41a, 41b) into one piece. Each permanent magnet (30, 40) is firmly held by the side plate portion (31a, 31b; 41a, 41b).
(FR)L'invention concerne un dispositif de circuits magnétiques destiné à la pulvérisation par magnétron qui comprend une rangée intérieure d'aimants permanents (3) composée d'aimants permanents (30) prévus de manière continue de telle sorte que les surfaces supérieures présentent des pôles d'une polarité prédéterminée, une rangée extérieure d'aimants permanents (4) composée d'aimants permanents (40) prévus de manière continue de telle sorte qu'ils entourent le rangée intérieure d'aimants permanents (3), les surfaces supérieures présentant des pôles de polarité inverse à celle de la rangée intérieure d'aimants permanents (3), une plaque de culasse magnétique (2) maintenant les aimants permanents (30, 40) dans un état amovible et des éléments de couverture de protection non magnétiques (31, 41) recouvrant chacun au moins un aimant correspondant des aimants permanents (30, 40) et présentant une section transversale généralement en forme de U. Chacun des éléments de couverture de protection (31, 41) est composé d'une première partie de plaque latérale (31a, 41a) couvrant un flanc de l'aimant permanent (30, 40) et fixée mécaniquement à la plaque de culasse magnétique (2), une seconde partie de plaque latérale (31b, 41b) couvrant l'autre flanc, ainsi qu'une partie de plaque supérieure (31c, 41c) reliant les parties de plaques latérales (31a, 31b, 41a, 41b) en une seule pièce. Chaque aimant permanent (30, 40) est fermement maintenu par la partie de plaque latérale (31a, 31b, 41a, 41b).
(JA) 上面に所定の極性の磁極を有するように連設された複数の永久磁石30からなる内側永久磁石列3と、内側永久磁石列3を取り囲み、上面に内側永久磁石列3の磁極と逆極性の磁極を有するように連設された複数の永久磁石40からなる外側永久磁石列4と、内側永久磁石列3及び外側永久磁石列4の永久磁石30,40を着脱自在に保持する磁気ヨーク板2と、永久磁石30,40を少なくとも1つずつ覆うほぼ断面コの字状の非磁性保護カバー部材31,41とを具備し、各保護カバー部材31,41は、永久磁石30,40の一方の側面を覆うとともに、磁気ヨーク板2に機械的に固定された第一の側板部31a,41aと、永久磁石30,40の他方の側面を覆う第二の側板部31b,41bと、両側板部31a及び31b,41a及び41bを一体的に連結する上板部31c,41cとからなり、各保護カバー部材31,41の両側板部31a及び31b,41a及び41bにより永久磁石30,40は強固に把持されているマグネトロンスパッタリング用磁気回路装置。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)