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1. (WO2006082758) INTERFEROMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/082758    International Application No.:    PCT/JP2006/301330
Publication Date: 10.08.2006 International Filing Date: 27.01.2006
IPC:
H01J 37/295 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01)
Applicants: RIKEN [JP/JP]; 2-1, Hirosawa, Wako-shi, Saitama 3510198 (JP) (For All Designated States Except US).
HARADA, Ken [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AKASHI, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TOGAWA, Yoshihiko [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MATSUDA, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MORIYA, Noboru [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HARADA, Ken; (JP).
AKASHI, Tetsuya; (JP).
TOGAWA, Yoshihiko; (JP).
MATSUDA, Tsuyoshi; (JP).
MORIYA, Noboru; (JP)
Agent: OGAWA, Katsuo; 8th Floor No.17 Arai Building 3-3, Shinkawa 1-chome Chuo-ku, Tokyo 104-0033 (JP)
Priority Data:
2005-027274 03.02.2005 JP
Title (EN) INTERFEROMETER
(FR) INTERFÉROMÈTRE
(JA) 干渉装置
Abstract: front page image
(EN)In a two-stage electron beam biprism interferometer, it is possible to adjust the direction of interference area and the azimuth of the interference fringes. The interferometer includes a biprism having upper-stage and lower-stage electron beam. By operating an azimuth angle Φ between filament electrodes (9u, 9b) of the biprism having the upper-stage and the lower-stage electron beam, it is possible to control the azimuth &thetas; of interference area and the interference fringes formed therein. This can also be applied to an interferometer using light as a light source.
(FR)Il est possible, dans un interféromètre biprisme à faisceau électronique deux étages, de régler la direction de la zone d’interférence et l’azimut des franges d’interférence. L’interféromètre comprend un biprisme ayant un faisceau électronique d’étage supérieur et d’étage inférieur. En opérant selon un angle d’azimut Φ entre les électrodes de filament (9u, 9b) du biprisme ayant le faisceau électronique d’étage supérieur et d’étage inférieur, il est possible de contrôler l’azimut &thetas; de la zone d’interférence et des franges d’interférence qui y sont formées. Ceci peut également s’appliquer à un interféromètre utilisant la lumière en tant que source d’illumination.
(JA)not available
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)