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Pub. No.:    WO/2006/082716    International Application No.:    PCT/JP2006/300819
Publication Date: 10.08.2006 International Filing Date: 20.01.2006
G01P 15/02 (2006.01)
Applicants: MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD. [JP/JP]; 1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718686 (JP) (For All Designated States Except US).
FUKUDA, Yoshihisa [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SAKAI, Kouji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ISHIGAMI, Atsushi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
FURUKUBO, Eiichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MESHII, Ryosuke [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YAJIMA, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUKUDA, Yoshihisa; (JP).
SAKAI, Kouji; (JP).
ISHIGAMI, Atsushi; (JP).
FURUKUBO, Eiichi; (JP).
MESHII, Ryosuke; (JP).
YAJIMA, Takashi; (JP)
Agent: ITAYA, Yasuo; Tokushima Bldg. 7F, 9-10, Minamisemba 3-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5420081 (JP)
Priority Data:
2005-024959 01.02.2005 JP
(JA) 半導体加速度センサ
Abstract: front page image
(EN)A semiconductor acceleration sensor, wherein beam parts are formed in a roughly L-shape so as to surround a weight part. The slender L-shaped beam parts are formed so as to surround the portion of the sensor forming the weight part square-shaped in plan view, and a projected part projecting from a fixed part to the weight part and a receiving recessed part projecting from the weight part to the fixed part and surrounding the projected part are formed adjacently to the base end part of each of the beam parts. The outline o the projected part and the inner wall of the receiving recessed part are approximately the same in shape, and the movement of the weight part in any horizontal directions orthogonal to the vertical direction is limited by the receiving of the projected part on the receiving recessed part. As a result, even if an impact is applied to the acceleration sensor from the side, the weight part is not largely displaced. Accordingly, even if a large stress is applied to the beam part, the beam part is not broken.
(FR)L’invention concerne un capteur d’accélération à semi-conducteur, où des parties faisceau sont globalement en forme de L de façon à entourer une partie de pondération. Les parties faisceau en forme de L élancé entourent la portion du capteur constituant la partie de pondération de forme carrée en vue en plan, et une partie saillante dépassant d’une partie fixe vers la partie de pondération et une partie rétreinte de réception dépassant de la partie de pondération vers la partie fixe et entourant la partie saillante sont formées pour être adjacentes à la partie d’extrémité de base de chacune des parties faisceau. Le contour de la partie saillante et la paroi interne de la partie rétreinte de réception ont sensiblement la même forme, et le mouvement de la partie de pondération dans toute direction horizontale perpendiculaire à la direction verticale est limité par la réception de la partie saillante sur la partie rétreinte de réception. Ainsi, même si l’on imprime un impact au capteur d’accélération depuis le côté, la partie de pondération n’est pas nettement déplacée. En conséquence, même si l’on applique une contrainte importante à la partie faisceau, la partie faisceau n’est pas interrompue.
(JA) ビーム部が錘部を取巻くように略L字状に形成された半導体加速度センサにおいて、錘部を構成する平面視正方形の部分を取り巻くように細長いL字状のビーム部が形成され、その基端部に隣接して、固定部側から錘部に向けて突出する凸部と、錘部側から固定部に向けて突出して凸部を囲む受止め凹部とが形成されている。凸部の外形と受止め凹部の内壁はほぼ同一形状になっていて、錘部の上下方向に直交する水平方向のいずれの方向への移動も、凸部が受止め凹部に受止められることによって制限される。従って、側方からの衝撃が加速度センサに加えられても、錘部は大きく変位することはなく、ビーム部に過大な応力が掛かってビーム部が破損することがない。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)