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1. (WO2006082585) SAMPLE PREPARATION FOR MICRO-ANALYSIS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/082585    International Application No.:    PCT/IL2006/000141
Publication Date: 10.08.2006 International Filing Date: 05.02.2006
IPC:
G01N 1/28 (2006.01), B28D 5/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), G01N 23/04 (2006.01), G01N 1/32 (2006.01)
Applicants: SELA SEMICONDUCTOR ENGINEERING LABORATORIES LTD. [IL/IL]; P.O. Box 517, 20692 Yokneam (IL) (For All Designated States Except US).
BOGUSLAVSKY, Dimitri [IL/IL]; (IL) (For US Only).
SMITH, Colin [IL/IL]; (IL) (For US Only).
VIAZOVSKY, Dan [IL/IL]; (IL) (For US Only).
FARHANA, Danny [IL/IL]; (IL) (For US Only).
ZACHARIN, Dimitry [IL/IL]; (IL) (For US Only).
ARONOV, Grigori [IL/IL]; (IL) (For US Only)
Inventors: BOGUSLAVSKY, Dimitri; (IL).
SMITH, Colin; (IL).
VIAZOVSKY, Dan; (IL).
FARHANA, Danny; (IL).
ZACHARIN, Dimitry; (IL).
ARONOV, Grigori; (IL)
Agent: G.E. EHRLICH (1995) LTD.; 11 Menachem Begin Street, 52521 Ramat Gan (IL)
Priority Data:
60/649,080 03.02.2005 US
Title (EN) SAMPLE PREPARATION FOR MICRO-ANALYSIS
(FR) PREPARATION D'ECHANTILLON POUR UNE MICROANALYSE
Abstract: front page image
(EN)System and method for preparing a sample for micro-analysis, comprising: (a) sample precursor holding unit, for supporting and holding a sample precursor; (b) transporting and positioning unit, for transporting and positioning the sample precursor holding unit; (c) optical imaging unit, for optically imaging, recognizing, and identifying, target features on the sample precursor, and for monitoring the sample preparation; (d) picking and placing unit, for picking and placing the sample precursor and system components from initial positions to other functionally dependent positions; (e) micro groove generating unit, for generating at least one micro-groove in a surface of the sample precursor, wherein the micro-groove generating unit includes components for controlling formation of each micro-groove in the surface; and (f) cryogenic sectioning unit, for cryogenically sectioning the sample precursor to a pre-determined configuration and size, for forming the prepared sample. Optionally, includes a micro-mask adhering unit, and a macro-mask adhering method.
(FR)L'invention concerne un système et une méthode pour préparer un échantillon destiné à une microanalyse. Le système de l'invention comprend: (a) une unité de maintien de précurseur d'échantillon pour servir de support et pour maintenir un précurseur d'échantillon; (b) une unité de transport et de positionnement pour transporter et pour positionner l'unité de support de précurseur d'échantillon; (c) une unité d'imagerie optique pour imager optiquement, pour reconnaître et pour identifier des caractéristiques cibles d'un précurseur d'échantillon, et pour surveiller la préparation d'échantillon; (d) une unité de prélèvement et de placement pour prélever et pour placer le précurseur d'échantillon et des composants du système de positions initiales jusqu'à d'autres positions fonctionnellement dépendantes; (e) une unité de génération de microrainures pour générer au moins une microrainure sur une surface du précurseur d'échantillon, l'unité de génération de microrainures comprenant des composants pour contrôler la formation de chaque microrainure sur la surface; et (f) une unité de sectionnement cryogénique, pour sectionner cryogéniquement le précurseur d'échantillon selon une configuration et une dimension prédéterminées, pour former l'échantillon préparé. Eventuellement, l'invention comprend une unité de collage de micromasque et une méthode de collage de macromasque.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)