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1. (WO2006082368) A METROLOGICAL INSTRUMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/082368    International Application No.:    PCT/GB2006/000242
Publication Date: 10.08.2006 International Filing Date: 25.01.2006
IPC:
G01B 21/04 (2006.01), G05B 19/19 (2006.01), G01B 5/00 (2006.01)
Applicants: TAYLOR HOBSON LIMITED [GB/GB]; 2 New Star Road, Leicester LE4 9JQ (GB) (For All Designated States Except US).
MILLS, Michael [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: MILLS, Michael; (GB)
Agent: CLARK, Jane, Anne; Mathys & Squire, 120 Holborn, London EC1N 2SQ (GB)
Priority Data:
0502062.3 01.02.2005 GB
Title (EN) A METROLOGICAL INSTRUMENT
(FR) INSTRUMENT METROLOGIQUE
Abstract: front page image
(EN)A metrological instrument determines a surface profile or form of a surface (61) of a workpiece (60) by effecting relative movement between a probe (11, 12) and the surface (61) so that the probe follows and is displaced by changes in the surface topography. A measure of the displacement of the probe as it follows the surface is obtained by a displacement provider which may be an interferometric gauge (35). Instead of making a measurement along a single measurement path over the surface (61), respective measurements are made on sections (61d and 61e or 61g and 61h) of that measurement path to obtain corresponding measurement data sets and these measurement data sets are independently positioned or aligned to a reference data set. The reference data set may be obtained by a measurement made on another section (61c) of the measurement path (61), on another measurement path (61f) over another surface (62a and 62b) of the component or on another measurement path over a surface on which the component is located. The aligned measurement data sets are then merged together to form a profile of the surface.
(FR)Selon l'invention, un instrument métrologique détermine un profil de surface ou une forme d'une surface (61) d'une pièce à usiner (60) en effectuant un mouvement relatif entre une sonde (11, 12) et la surface (61) de sorte que la sonde suit et est déplacée par des changements au niveau de la topographie de surface. Une mesure du déplacement de la sonde lorsqu'elle suit la surface est obtenue par un fournisseur de déplacements qui peut être un calibre interférométrique (35). Au lieu d'effectuer une mesure le long d'un chemin de mesure unique sur la surface (61), des mesures respectives sont effectuées sur des parties (61d et 61e ou 61g et 61h) dudit chemin de mesure afin d'obtenir des ensembles de données de mesure correspondants et lesdits ensembles de données de mesure sont indépendamment positionnés ou alignés sur un ensemble de données de référence. L'ensemble de données de référence peut être obtenu par une mesure effectuée sur une autre partie (61c) du chemin de mesure (61), sur un autre chemin de mesure (61f) sur une autre surface (62a et 62b) du composant ou sur un autre chemin de mesure sur une surface sur laquelle le composant est situé. Les ensembles de données de mesure alignés sont ensuite fusionnés ensemble afin de former un profil de la surface.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)