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1. (WO2006081519) METHODS AND APPARATUS FOR OPERATION OF SUBSTRATE CARRIER HANDLERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/081519    International Application No.:    PCT/US2006/003130
Publication Date: 03.08.2006 International Filing Date: 27.01.2006
IPC:
G05B 19/418 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: TEFERRA, Michael; (US).
PURI, Amitabh; (US).
ENGLHARDT, Eric; (US)
Agent: DUGAN, Brian, M.; Dugan & Dugan, PC, 55 South Broadway, Tarrytown, New York 10591 (US)
Priority Data:
60/648,838 28.01.2005 US
11/067,302 25.02.2005 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR OPERATION OF SUBSTRATE CARRIER HANDLERS
(FR) PROCEDES ET APPAREIL PERMETTANT D'AMELIORER LE FONCTIONNEMENT DE MANIPULATEURS DE SUPPORTS DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(EN)Systems, tools, and methods are provided in which a first signal is transmitted from a tool to a Fab indicating that all substrates to be processed have been removed from a specific carrier and that the specific carrier may be temporarily unloaded from a loadport of the tool. A second signal is transmitted from the tool to the Fab indicating that the specific carrier may be returned to the tool. While the carrier is unloaded from the tool, other carriers may be loaded on the vacated loadport. Numerous other features and aspects of the invention are disclosed.
(FR)Cette invention concerne des systèmes, des outils et des procédés selon lesquels un premier signal est envoyé d'un outil à un équipement de fabrication (Fab), lequel signal indique que tous les substrats à traiter ont été retirés d'un support spécifique et que le support spécifique peut être temporairement déchargé d'un port de chargement de l'outil. Un deuxième signal est envoyé de l'outil à l'équipement de fabrication, lequel deuxième signal indique que le support spécifique peut être renvoyé à l'outil. Tandis que le support est déchargé de l'outil, d'autres supports peuvent être chargés sur le port de chargement libéré. Cette invention porte également sur un grand nombre d'autres caractéristiques et aspects.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)