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1. (WO2006080977) METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING AND SURFACE CONDITIONING OBJECTS WITH PLASMA
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/080977    International Application No.:    PCT/US2005/042637
Publication Date: 03.08.2006 International Filing Date: 22.11.2005
IPC:
B08B 6/00 (2006.01), C23F 1/00 (2006.01)
Applicants: CERIONX, INC. [US/US]; 4300 Haddenfield Road, Suite 117, Pennsauken, NJ 08109 (US) (For All Designated States Except US).
KURUNCZI, Peter [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: KURUNCZI, Peter; (US)
Agent: MALDJIAN, John, P.; 1040 BROAD STREET, 2nd Floor, Shrewsbury, NJ 07702 (US)
Priority Data:
11/043,787 26.01.2005 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING AND SURFACE CONDITIONING OBJECTS WITH PLASMA
(FR) PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT LE NETTOYAGE ET LE TRAITEMENT DE SURFACE D'OBJETS AU PLASMA
Abstract: front page image
(EN)A method and apparatus for cleaning and surface conditioning objects (106) using plasma is disclosed One embodiment of the method discloses providing a plurality of elongated dielectric barrier plates (102) arranged adjacent each other, the plates having inner electrodes (104) connected therein, introducing the objects proximate the plates, and producing a dielectric barrier discharge to form plasma between the objects and the plates for cleaning at least a portion of the objects One embodiment of the apparatus for cleaning objects using plasma (112) discloses a plurality of elongated dielectric barrier plates arranged adjacent each other, and a plurality of inner electrodes, each contained within, and extending substantially along the length of, respective ones of the elongated dielectric barrier plates
(FR)L'invention porte sur un procédé et un appareil qui permettent le nettoyage et le traitement de surface d'objets au plasma. Dans un mode de réalisation de l'invention, on forme une pluralité de plaques barrières diélectriques allongées agencées adjacentes les unes aux autres, lesdits plaques comprenant des électrodes internes qui leur sont reliées, on introduit les objets à proximité des plaques, et on produit une décharge à barrière diélectrique afin de former du plasma entre les objets et les plaques et de nettoyer au moins une partie des objets. Dans un mode de réalisation de l'invention, l'appareil de nettoyage d'objets au plasma comprend une pluralité de plaques barrières diélectriques allongées agencées adjacentes les unes aux autres, et une pluralité d'électrodes internes contenues chacune à l'intérieur d'une plaque barrière diélectrique allongée respective et s'étendant sensiblement sur la longueur d'une plaque barrière diélectrique allongée respective.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)