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1. (WO2006080923) SIMULTANEOUS PHASE-SHIFTING FIZEAU INTERFEROMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/080923    International Application No.:    PCT/US2005/002923
Publication Date: 03.08.2006 International Filing Date: 27.01.2005
IPC:
G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: 4D TECHNOLOGY CORPORATION [US/US]; 3280 E. Hemisphere Loop, Suite 146, Tucson, AZ 85706 (US) (For All Designated States Except US).
MILLERD, James, E. [US/US]; (US) (For US Only).
WYANT, James, C. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: MILLERD, James, E.; (US).
WYANT, James, C.; (US)
Agent: DURANDO, Antonio, R.; Quarles & Brady Streich Lang LLP, Suite 1700, One South Church Avenue, Tucson, AZ 85701 (US)
Priority Data:
Title (EN) SIMULTANEOUS PHASE-SHIFTING FIZEAU INTERFEROMETER
(FR) INTERFEROMETRE FIZEAU A DEPHASAGE SIMULTANE
Abstract: front page image
(EN)The tilted relationship between the reference and test mirrors (24,26) of a Fizeau interferometer is used to spatially separate the reflections (R,T) from the two surfaces. The separate beams (R, T) are filtered through a spatial polarization element (32) that provides different states of polarization to the beams. The beams (R,T) are subsequently recombined to form a substantially collinear beam that is processed using a spatial-phase-shift interferometer (44) that permits quantitative phase measurement in a single video frame. Alternatively, two beams (104,106) with orthogonal polarization are injected into the Fizeau cavity (20) at different angles, such that after reflection from the reference and test optics (24,26) they are substantially collinear. Unwanted reflections are blocked at the focal plane through the use of a circular aperture (112). Short coherence length light and a delay line (84) may be used to mitigate stray reflections, reduce measurement integration times, and implement temporal phase averaging.
(FR)La relation réversible entre le miroir de référence et le miroir test (24, 26) d'un interféromètre Fizeau est utilisée pour séparer dans l'espace, les réflexions (R, T) provenant des deux surfaces. Les faisceaux séparés (R, T) sont filtrés à travers un élément de polarisation spatiale (32) qui procure deux états de polarisation différents aux faisceaux. Les faisceaux (RT) sont ensuite recombinés pour former un faisceau sensiblement colinéaire qui est traité au moyen d'un interféromètre à déphasage spatial (44) permettant une mesure de phase quantitative dans une seule trame vidéo. En variante, deux faisceaux (104, 108) à polarisation orthogonale sont injectés dans la cavité Fizeau (20), en des angles différents, de telle sorte qu'après réflexion à partir des optiques de références et des optiques tests (24, 26), ils soient sensiblement colinéaires. Des réflexions indésirables sont bloquées au plan focal, par utilisation d'une ouverture circulaire (112). Une lumière de longueur de courte cohérence et une ligne retard (84) peuvent être utilisées pour mitiger les réflexions parasites, réduire les temps d'intégration de mesure, et implémenter les moyennes de phase temporelles.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)