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1. (WO2006080909) EXTREME ULTRAVIOLET REFLECTOMETER WITH ROTATING GRATING MONOCHROMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/080909    International Application No.:    PCT/US2005/002320
Publication Date: 03.08.2006 International Filing Date: 24.01.2005
IPC:
G01N 21/55 (2006.01)
Applicants: UNDERWOOD, James, H. [US/US]; (US).
PERRERA, Rupert, C., C. [US/US]; (US).
BATSON, Phillip, J. [US/US]; (US)
Inventors: UNDERWOOD, James, H.; (US).
PERRERA, Rupert, C., C.; (US).
BATSON, Phillip, J.; (US)
Agent: BIELEN, Theodore, J., Jr.; Bielen, Lampe & Thoeming, 1390 Willow Pass Road, Suite 1020, Concord, CA 94520 (US)
Priority Data:
Title (EN) EXTREME ULTRAVIOLET REFLECTOMETER WITH ROTATING GRATING MONOCHROMETER
(FR) REFLECTOMETRE A ULTRAVIOLET EXTREME AVEC MONOCHROMATEUR A RESEAU ROTATIF
Abstract: front page image
(EN)A reflectometer device (10) for determining the quality characteristics of an electronic chip mask blank (12) utilizing a source (22) of electromagnetic radiation in the extreme ultraviolet region. Radiations from the source is passed to a monochrometer (32) which includes a mirror (34), a rotatable grating (38), and an exit slit (42). The radiation travels to the mirror and is reflected to the grating which, in turn, provides a source of electromagnetic radiation which is essentially continuous and of a particular bandwidth. The grating is rotated to tune such source of electromagnetic radiation which is passed to the subject test blank . Upon reflection from the mask blank, a detector (62) determines the intensity of the reflected beam from the mask blank and translates such measurement into a determination of reflectivity.
(FR)L'invention concerne un dispositif réflectomètre (10) destiné à déterminer les caractéristiques de qualité d'une ébauche de masque de puce électronique (12) au moyen d'une source (22) de rayonnement électromagnétique dans la région de l'ultraviolet extrême. Les rayonnements en provenance de la source sont transmis à un monochromateur (32) qui comprend un miroir (34), un réseau rotatif (38) et une fente de sortie (42). Le rayonnement est dirigé vers le miroir et réfléchi vers le réseau, lequel, à son tour, produit une source de rayonnement électromagnétique essentiellement continue présentant une bande passante particulière. Le réseau est entraîné en rotation de manière à régler la source de rayonnement électromagnétique transmis à l'ébauche de test. Lors d'une réflexion à partir de l'ébauche de masque, un détecteur (62) détermine l'intensité du faisceau réfléchi à partir de l'ébauche de masque et traduit cette mesure en une détermination de réflectivité.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)