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1. (WO2006080621) MANUFACTURE METHOD OF VERTICAL-TYPE ELECTRIC CONTACTOR AND VERTICAL-TYPE ELECTRIC CONTACTOR THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/080621    International Application No.:    PCT/KR2005/003114
Publication Date: 03.08.2006 International Filing Date: 20.09.2005
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: PHICOM CORPORATION [KR/KR]; Gasan-dong 60-29, Geumcheon-gu, Seoul 153-801 (KR) (For All Designated States Except US).
LEE, Oug-Ki [KR/KR]; (KR)
Inventors: LEE, Oug-Ki; (KR)
Agent: KWON, Hyuk-Soo; 3rd Fl., 827-25, Yeoksam-dong, Kangnam-ku, Seoul 135-080 (KR)
Priority Data:
10-2004-0075747 22.09.2004 KR
Title (EN) MANUFACTURE METHOD OF VERTICAL-TYPE ELECTRIC CONTACTOR AND VERTICAL-TYPE ELECTRIC CONTACTOR THEREOF
(FR) PROCEDE DE FABRICATION DE CONTACTEUR ELECTRIQUE DE TYPE VERTICAL ET CONTACTEUR ELECTRIQUE DE TYPE VERTICAL ASSOCIE
Abstract: front page image
(EN)A method for fabricating a vertical-type electric contactor includes forming a first passivation pattern on a sacrificial substrate for forming at least one tip; performing an etch process, using the first passivation pattern as an etch mask, to form a trench in the sacrificial substrate; removing the first passivation pattern and forming a second passivation pattern to offer a space for forming a support beam, wherein the tip is merged with one end of the support beam; filling the trench and the space with a conductive material to form a tip and a support beam; forming a third passivation pattern on a sacrificial substrate including the tip and the support beam to offer a space for forming a hollow body; filling the space offered by the third passivation pattern with a conductive material to form a hollow body; bonding the hollow body with a bump formed on a micro-probe head (MPH); and removing the sacrificial substrate to open a tip of an electric contactor.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication de contacteur électrique de type vertical. Ce procédé consiste: à former un premier motif de passivation sur un substrat sacrificiel pour former au moins une pointe; à réaliser un processus de gravure, en utilisant le premier motif de passivation comme masque de gravure, pour former une tranchée dans le substrat sacrificiel; à éliminer le premier motif de passivation et à former un deuxième motif de passivation pour constituer un espace pour la formation d'un bras support, la pointe étant fusionnée avec une extrémité du bras support; à remplir la tranchée et l'espace au moyen d'un matériau conducteur pour former une pointe et un bras support; à former un troisième motif de passivation sur le substrat sacrificiel comprenant la pointe et le bras support pour constituer un espace pour la formation d'un corps creux; à remplir l'espace constitué par le troisième motif de passivation au moyen d'un matériau conducteur pour former un corps creux; à lier le corps creux à une bosse formée sur une tête de microsonde (MPH); et à éliminer le substrat sacrificiel pour ouvrir la pointe du contacteur électrique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Korean (KO)