(EN) [PROBLEMS] To prevent breakage of an electrostatic attraction functioning part due to biting of a foreign material. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] At least one layer of a dielectric protecting layer (1c) having a prescribed thickness is provided on a surface of a dielectric layer (1b). A portion between a board contact plane (1’) of the dielectric protecting layer (1c) arranged on the outermost side and an electrode layer (1a) is permitted to have a laminate structure composed of a plurality of layers. A distance between the board contact plane (1’) and the electrode layer (1a) is increased by the thickness of the dielectric protecting layer (1c). Thus, probability of causing damage to the electrode layer (1a) due to biting of a large foreign material is reduced, and at the same time, even when the board contact plane (1’) of the dielectric protecting layer (1c) is scratched by biting of a small foreign material, a crack does not reach the dielectric layer (1a) by being prevented from advancing by the dielectric protecting layer (1c). When the layer constitution is divided while maintaining the entire thickness from the board contact plane (1’) to the electrode layer (1a) substantially the same, the crack does not reach the dielectric layer (1a) by being prevented from advancing by the dielectric protecting layer (1c) in the same manner.
(FR) L’invention vise à empêcher les fuites d’une partie fonctionnant par attraction électrostatique dues à la morsure d’un corps étranger. Selon l’invention, au moins une couche d’une couche de protection diélectrique (1c) présentant une épaisseur prescrite est formée sur une surface d’une couche diélectrique (1b). Une partie entre un plan de contact de plaquette (1’) de la couche de protection diélectrique (1c) disposée du côté situé le plus à l’extérieur et une couche d’électrode (1a) est dotée d’une structure stratifiée composée d’une pluralité de couches. Une distance entre le plan de contact de plaquette (1’) et la couche d’électrode (1a) est augmentée de l’épaisseur de la couche de protection diélectrique (1c). Il est donc possible de réduire les risques d’endommagement de la couche d’électrode (1a) par la morsure d’un gros corps étranger. De plus, même en cas de rayure du plan de contact de plaquette (1’) de la couche de protection diélectrique par la morsure d’un petit corps étranger, une fissure ne parvient pas à atteindre la couche diélectrique (1a) du fait que sa progression est bloquée par la couche de protection diélectrique (1c). Lors d’une division de la structure en couches tout en maintenant la distance entre le plan de contact de plaquette (1’) et la couche d’électrode (1a) sensiblement constante, la fissure n’atteint pas non plus la couche diélectrique (1a) du fait que sa progression est également bloquée par la couche de protection diélectrique (1c).
(JA) 【課題】 異物の噛み込みによる静電吸着機能部の破損を防止する。 【解決手段】 誘電層１ｂの表面に所定厚さの誘電保護層１ｃを少なくとも一層以上設け、その最も表面側に配置された誘電保護層１ｃの基板接触面１′から電極層１ａまでの間を複数層からなる積層構造にして、これら基板接触面１′から電極層１ａまでの距離を上記誘電保護層１ｃの厚み分だけ広げることにより、大きな異物の噛み込みに伴う電極層１ａへのダメージの確率が減少すると同時に、小さい異物の噛み込みで誘電保護層１ｃの基板接触面１′が傷付いても、誘電保護層１ｃでクラックの進行が抑えられて誘電層１ａまで至らず、また該基板接触面１′から電極層１ａまでの全体厚さを略同じに維持しつつ層の構成を分割した場合も、同様に誘電保護層１ｃでクラックの進行が抑えられて誘電層１ａまで至らない。
