(EN) The invention relates to a system (1) for detecting motion of a body (2) , said body comprising a first diffraction pattern (3A) and a second diffraction pattern (3B) with a predetermined orientation relative to said first diffraction pattern. The system comprises optical means (4A, 4B) adapted to provide at least a first incident beam to said first diffraction pattern to obtain a first diffracted beam from said first diffraction pattern and at least a second incident beam, with a predetermined orientation relative to said first incident beam, to said second diffraction pattern to obtain a second diffracted beam from said second diffraction pattern. The system has means for detecting motion of said body on the basis of the phase difference between at least one of said first diffracted beam and said second diffracted beam. Accordingly a larger in-plane rotation range is obtained for detecting motion of the body (2) . The invention also relates to a wafer (2) provided with two-dimensional diffraction patterns (3A,3B) and a method for detecting motion of a body.
(FR) L'invention concerne un système (1) de détection du mouvement d'un corps (2), ledit corps comprenant un premier modèle de diffraction (3A) et un second modèle de diffraction (3B) avec une orientation prédéterminée par rapport au premier modèle de diffraction. Le système comprend des moyens optiques (4A, 4B) adaptés pour générer au moins un premier faisceau incident sur le premier modèle de diffraction afin d'obtenir un premier faisceau de diffraction à partir du premier modèle de diffraction, et au moins un second faisceau incident, avec une orientation prédéterminée par rapport au premier faisceau incident, sur le second modèle de diffraction afin d'obtenir un second faisceau de diffraction à partir du second modèle de diffraction. Le système comprend des moyens de détection du mouvement dudit corps en fonction de la différence de phase entre au moins un des premier et second faisceaux de diffraction. Une plage supérieure de rotation dans le plan est ainsi obtenue pour détecter le mouvement du corps (2). L'invention concerne également une tranche (2) pourvue de deux modèles de diffraction bidimensionnels (3A, 3B), et un procédé de détection du mouvement d'un corps.
